非晶碳薄膜相关论文
聚合物材料因其优异的韧性、耐腐蚀性和生物相容性等而被广泛应用于各个领域。但是聚合物材料又具有硬度低和耐磨性能差等不可忽视......
随着国家高新技术装备的迅速发展，对润滑材料长寿命、高可靠方面的要求也不断提高。薄膜中特殊纳米结构的形成也是影响a-C：H薄膜真空......
类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。简要地介绍了DLC膜的结构、制备方法及其在机械、电子、光学、生物医学......
本文在不同的基低偏压下，采用直流溅射石墨靶的方法制备了非晶碳薄膜。结果显示，随着基底偏压的升高，薄膜中的sp2石墨片状结构含量增......
目前,将非晶碳薄膜作为光学薄膜的实验研究逐渐增多,并取得了良好的预期效果,但很少有从原子尺度进行研究.本文采用基于密度泛函理......
纳米多层膜具有单层薄膜难以达到的各种特殊性能，如高的硬度、结合强度，高的韧性及热稳定性，低的摩擦系数等；同时，非晶碳(a-C)薄膜由于......
本文在不同的基低偏压下，采用直流溅射石墨靶的方法制备了非晶碳薄膜。结果显示，随着基底偏压的升高，薄膜中的sp2石墨片状结构含量增......
单一的塑料薄膜或者塑料容器由于自身的透气性难以满足一些气体敏感产品的包装.利用等离子体化学气相沉积(PECVD)的方法在聚酯(PET......
会议
不同形貌的碳材料,如碳球、碳膜和三维碳材料,具有各自独特的性质和用途。而简易高效的合成方法和合适的碳前驱体是制备碳材料的关......
类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。简要地介绍了DLC膜的结构、制备方法及其在机械、电子、光学、生物医学......
有机发光器件(organic light emitting diode, OLED)也称有机电致发光二极管,被认为最具竞争力的下一代显示器。OLED器件具有厚度......
类金刚石(Diamond-likeCarbon，DLC)膜是一种含有sp3键和sp2键结构的非晶碳薄膜，具有许多与金刚石膜相似的性能，在机械、电子、光学和......
摘要：随着存储器朝着高存储密度、长保持时间、微型化、低功耗和读写速度快等方向发展,与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容的新......
润湿性能是固体表面的重要特征之一,无论在人们的日常生活还是在工农业生产中它都发挥着重要的作用,如防雪﹑防污染﹑抗氧化和防止电流......
本论文利用中频磁控溅射技术制备了W, Al共掺杂含氢非晶碳((W,Al)/a-C∶H)薄膜。研究了沉积工艺参数对薄膜组成和结构的影响，探讨了......
该文通过对不同条件下制备的金刚石薄膜的场致电子发射的研究,找出适合场致电子发射的薄膜微结构和表面形貌,并从实验结果总结出较......
该论文介绍了椭偏光谱技术的反射和透射两种测量分析方法.利用了椭偏光谱的反射方法分析测量了几种光电薄膜材料的光学常数谱和薄......
本论文采用两种制备方法：磁过滤离子束沉积和脉冲激光蒸发沉积制备了不同微结构(spC含量)的非晶碳薄膜，研究了衬底偏压、衬底温度、......
在电弧离子镀技术沉积富碳TiC薄膜的过程中研究了不同乙炔流量对沉积膜的形貌、成分性能的影响.结果表明,利用电弧离子镀技术在铝......
离子束混合技术可在低温下通过非平衡态键合作用实现薄膜与基底界面间的原子级混合,甚至可在无相互反应和互不相容的物质之间也能......
用脉冲激光沉积在不同条件下制备非晶碳超硬薄膜,研究了非晶碳超硬薄膜的表面形貌、结构、应力、硬度以及能谱等。原子力显微镜和......
用苯作为源气体 ,使用微波电子回旋共振 (ECR)等离子体气相沉积法在不同温度下制备了含氢非晶碳薄膜 ,研究了沉积温度对薄膜的直流......
用苯作源气体在一个微波电子回旋共振等离子体系统中沉积了含氢非晶碳薄膜,研究了沉积参数对膜的生长速率的影响.为了探索该种薄膜......
采用微波等离子体化学气相沉积法在经研磨处理后的Si(111)面上制备出了纳米非晶碳薄膜.为改善薄膜的场发射性能,在研磨好的Si基底......
采用射频磁控溅射技术制备非晶碳薄膜和La2O3掺杂的非晶碳薄膜．利用扫描电子显微镜＼光电子能谱等方法对薄膜的结构进行了分析，采用血......
利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜，研究了溅射功率和基片温度对所沉积薄膜的的影响，对所制备的类金刚石薄膜用拉曼光谱、紫......
采用射频磁控溅射方法制备了氧化镧掺杂的非晶碳薄膜。利用拉曼光谱，光电子能谱等方法，研究了氧化镧掺杂对非晶碳薄膜的微结构、成分......
采用射频磁控溅射方法制备了氧化镧掺杂的非晶碳薄膜。利用拉曼光谱,接触角测试等方法,研究了氧化镧掺杂对非晶碳薄膜的微结构,表......
采用射频磁控溅射法在n-Si（100）衬底上依次沉积氧化铝膜（Al2O3）和铁掺杂非晶碳薄膜（aC：Fe）,制成（a-C：Fe）/Al2O3/Si异质结太阳能电池,研究了氩......
采用基于第一性原理的赝势平面波方法，对3个不同密度（2．6，2．9和3．2g·cm^-3）非晶碳结构的振动态密度和振动拉曼光谱进行了研究。结构......
近日，中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室空间润滑材料组，在国际上首次制备了一种具有双重纳米结构的非晶碳薄膜材料。......
利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法在黑硅和抛光单晶硅片衬底上生长非晶碳薄膜，其中变量为CH4流量，分别为10sccm、14sccm、18sccm......
采用射频磁控溅射方法制备了稀土元素铈掺杂的非晶碳薄膜。通过改变稀土铈的掺杂量,利用拉曼光谱,紫外可见光谱等方法,研究了稀土......
采用真空蒸镀法在SiO2表面制备非 晶态碳纳米薄膜,考察了碳离子注入对非晶态碳薄膜与基体结合强度及摩擦学性能的影响， 并采用X射线......
微机电系统（MEMS）领域近年来发展很快，主要利用微电子行业的硅集成电路工艺和技术，来制备硅基微型化的传感器与执行器以及微结构，在生命......
用射频磁控溅射法成功地制备了非晶碳薄膜薄膜。拉曼光谱表征表明所沉积的非晶碳薄膜是非晶结构，具有类金刚石特性。对所制备的掺氮......
本文介绍了对辉光放电法制备的氢化非晶碳薄膜的时间分辨瞬态光致复合发光衰减的研究，分析了它对沉积温度、发射能量和激发能量的依......
非晶碳薄膜是一种长程无序、短程有序结构的材料,兼具金刚石与石墨的优良特性,在光学、电学、力学、热学、化学稳态等方面表现优异......
我们用激光轰击石墨靶成功地制备出类金刚石无氢非晶碳薄膜.测量了光学吸收、光致发光及其随入射光强度的变化关系.结果表明,这种......
硬度低、耐磨性能差等固有缺点已成为限制聚合物材料在一些苛刻环境中工业应用的重要因素。为了改善表面硬度和耐磨性能,多种表面......
用脉冲激光沉积在不同条件下制备非晶碳超硬薄膜,研究了非晶碳超硬薄膜的表面形貌、结构、应力、硬度以及能谱等。原子力显微镜和......
本论文采用脉冲激光沉积技术和射频磁控溅射两种方法制备了具有不同结构(sp3/sp2)和性能的四面体非晶碳膜,以及稀土La不同掺杂量的......
用苯作源气体在一个微波电子同回旋共振等离子体系统中沉积了含氢非晶碳薄膜，研究了学积参数对膜的生长速率的影响。为了探索种薄膜......
采用磁过滤真空溅射离子沉积技术，用氩气和氮气共溅射石墨靶在不同氮气分压下，制备了一组不同氮含量的四配位非晶氮碳薄膜（ｔａ０Ｃ：Ｎ）。用Ｘ射线光......
采用微波等离子体化学气相沉积法在经研磨处理后的Si（111）面上制备出了纳米非晶碳薄膜。为改善薄膜的场发射性能，在研磨好的Si基底上......
