非晶碳薄膜是一种长程无序、短程有序结构的材料,兼具金刚石与石墨的优良特性,在光学、电学、力学、热学、化学稳态等方面表现优异,因此被广泛的应用在光电传感器,保护涂层以及太阳能电池等领域。其材料体内分别代表金刚石化程度的sp~3杂化碳原子以及代表石墨化程度的sp~2杂化碳原子可以通过改变生长条件对其比例进行调控,进而制备出性能不同的材料。本论文中,我们在硅基片上采用射频磁控溅射技术制备出非晶碳薄膜,主要研究了衬底温度、溅射气压以及溅射功率对非晶碳薄膜的表面形貌、粗糙度、表面电阻以及沉积速率的影响,实验并讨论了非晶碳薄膜以及钴掺杂非晶碳薄膜的一些光电特性。采用拉曼光谱仪分析了样品的非晶结构,原子力显微镜以及扫描电子显微镜对其表面形貌进行了测量等。实验结果表明:通过对衬底温度、溅射气压以及溅射功率的调节,可以改变非晶碳薄膜表面形貌,电阻大小以及沉积速度,即:通过改变这些,可以使得非晶碳薄膜朝向石墨或者金刚石型转变,改变其光学、电学等性质,为非晶碳薄膜的实际应用提供有力依据。通过对非晶碳薄膜的光电特性研究我们发现,钴掺杂可以改变其材料结构的无序度,并且改变光学吸收谱的峰位,而且我们还发现,非晶碳薄膜具有光电响应快,响应区域可通过掺杂调控等特点。另一方面,随着科技的进步,越来越多的人们开始关注器件的功能性、娱乐性以及便捷性,柔性可穿戴设备此时应运而生且飞速发展。在本文中,我们成功地制备出柔性非晶碳薄膜,克服了高温不能制备柔性材料的难题,该方法是将磁控溅射制备的非晶碳薄膜通过剥离技术转移到柔性聚乙烯衬底上。经过研究发现,柔性非晶碳薄膜表现出强烈的压阻现象,且展示出优异的抗疲劳特性。通过对柔性非晶碳薄膜弯折以及掺杂,可以对其光电特性进行调制。尽管其光电导现象并不优越于硅片上的非晶碳薄膜,但它的这种可弯折以及光电导可调控特性仍然具有很大的应用前景。