氮化物薄膜相关论文
为研究氮气含量的变化对AlCrTaTiZrV高熵合金薄膜性能的影响,检验在最佳氮气含量下厚度为15 nm的(AlCrTaTiZrV)N扩散阻挡层的热稳......
本文采用MOCVD生长法在c面蓝宝石上外延生长Al组分约10％的N极性AlGaN薄膜,并对其关键氮化步骤进行了优化.研究结果表明氮化时间对N......
本文使用金属有机化合物气相外延(MOVCD)系统,第一次成功地采用In作表面活化剂,在(10-10)m面蓝宝石衬底上生长出了半极性(11-22)面......
GaN and InGaN layers have been deposited by metal-organic vapor deposition (MOCVD) and molecular beam epitaxy, p-GaN fil......
会议
氮化物薄膜主要是指氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)、铝镓氮(AlGaN)第三代半导体薄膜材料,它们具有较高的禁带宽度、较大的击穿场强、高......
采用多靶磁控溅射与氮等离子体基离子注入技术制备了多元(ZrTANbTiW)N薄膜,对薄膜的组织结构及硬度进行了研究.结果表明:薄膜的化......
利用脉冲偏压电弧离子镀在高速钢和Si基体上沉积锆基三元氮化物薄膜Zr-Me-N(Me=Al,Cr,Cu).采用EPMA、XRD、SEM、接触角、纳米压痕......
本文采用电弧离子镀技术,制备了(Ti1-x-yAly Six)N和(Zr1-xAlx)N薄膜,利用扫描电镜（SEM）能谱分析（EDS）X射线衍射（XRD）,显微硬度计,分析天......
TiN等金属氮化物薄膜因其良好的耐磨性和耐蚀性已在刀具和模具的表面处理领域取得了广泛应用，但随着高速精密加工技术的发展，尤其是......
基于硬质薄膜的研究现状,主要分析两种具有代表性的硬质薄膜—氮化物薄膜和类金刚石薄膜的最新研究进展及存在的主要问题,提出了本......
GaN基Ⅲ族氮化物由于其在从紫外到可见光波段高效光电器件制作中的成功应用而成为半导体材料研究领域的主要前沿课题之一。本文利......
金属铀是重要的核燃料，且在合成氨方面表现了优良的催化性能。实验发现，表面氮化处理可以在金属铀表面形成一层氮化物薄膜，进而有......
该论文介绍了几种氮化物薄膜的低温合成和对氮化物薄膜的性质研究.低温合成制备优质的氮化物薄膜的关键是低温条件下化合物的形成......
摘要实验利用单靶射频磁控溅射技术,在单晶硅基底上,制备了两个系列FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜,即FeCrVTa0.4W0.4氮化物成......
二维晶体材料如石墨烯、氮化硼等由于其独特的结构、物理特性和光电性能而被广泛研究,近年来二维材料独特的范德华外延也为氮化物......
一些Ⅲ主族以及过渡金属氮化物具有低逸出功以及稳定场发射的性能，适合于用作ＦＥＡ发射微尖表面的薄膜。本文对这些氮化物薄膜作了制备与......
Vishay Intertechnology,Inc.宣布,推出通过MIL-PRF-55342认证的新系列QPL表面贴装片式电阻——E/H（Ta2N）,该电阻具有公认的高可靠性......
There is growing interest in the underlying physical processes in optoelectronic devices based on thin-film multilayer s......
高分子辅助沉积法是近年来发展起来的一种薄膜沉积方法。该方法利用高分子与金属键合形成均匀稳定的溶液，将溶液涂覆在基片上后，通过......
使用多弧离子镀设备制备了AlTiN,CrN,TiN,ZrN薄膜,在850℃条件下,利用自行研制的高温界面摩擦试验装置对上述薄膜与熔融玻璃之间的......
用真空电弧熔炼法制备了AlCrNbSiTiV高熵合金,并将其作为靶材,利用直流反应式磁控溅镀法在T1200A金属陶瓷刀具或硅晶片上沉积了高......
Chemraz XTR是全氟橡胶产品，能提供高氟环境下的抗化学腐蚀性，尤其是在高温的CIF3,和NF3条件下。全氟化合物定位于苛刻的应用挑战中，......
铀（U）作为一种重要的战略核能源材料,广泛应用于核能和国防领域。铀化学性质十分活泼,极易发生腐蚀而影响其物理化学性质及核性能,因......
基于多元高熵合金思想制备的高熵合金氮化物薄膜由于多种元素相互混合,易于产生高熵效应、晶格畸变效应和缓慢扩散效应,使得该新型......
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<正>虽然采用应力工程技术可以通过增强迁移率实现令人难以置信的性能增益．但也会引起器件的可靠性退化。尤其是还必须把负偏置温度......
本文分别通过过渡族元素Ti、Cr掺杂及C掺杂，缓解非晶碳（a-C）薄膜及TiN、CrN薄膜的内应力；增加膜基间粘附强度；提高薄膜硬度；并系统地研究......
铝及铝合金的扩散连接英国范堡罗的英国宇航公共有限公司在美国专利ＮＯ．５３７６１８７中介绍了两块铝或铝合金部件的扩散连接方法，其步骤是在待连接的......
