梯度薄膜相关论文
随着科技发展,单一的二元TiN薄膜已越来越不能满足行业对薄膜的使用需求,镀膜更高的力学性能的需求使得刀具薄膜的性能必须向高结......
本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波激发等离子体的发生装置,并以氢气为工作气体,对射频源功率P、工作压强P及磁场强度B等影响等离子......
本文研究了PECVD方法制备Si-O-N系梯度薄膜材料,并运用计算机控制技术成功地制备了涂层折射率随膜深成正弦波形式连续变化的Rugate单通带滤波器样品。......
本文采用离子注入、等离子体氮化和等离子体CVD相结合的技术,制备梯度材料,解决了常规气相沉积方法难以实现金属基体到陶瓷涂层薄膜的梯......
采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了上组分梯度、下组分梯度及单层BST薄膜,对比研究了三种结构BST薄膜的电、热性能。实验表......
本文对关联式气体流量调节器的工作原理进行了分析,获得了气体流量与阀通径之间的函数关系,结果表明,此调节器的设计可以实现气体......
用对向靶溅射方法制备出氮化铁梯度薄膜。利用X射线光电子能谱(XPS)对样品进行了深度剖面分析:铁原子和氮原子的百分含量沿膜厚方向呈......
本文讨论了一种采用拉伸释放薄膜宏观内应力的X射线应力测量方法,并用此方法测量了含有梯度过渡层的TiN薄膜的内应力。
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本文采用离子束辅助沉积技术,制备了不同成分梯度的一系列(Ti1-xAlx)N膜(其中x=0.16~0.44),并利用刮剥式结合强度测量方法,对薄膜成分对结合强度、内应力、硬度......
研究了成分梯度对Ti-Al-N 系功能梯度薄膜结合强度的影响.实验结果表明:Ti-Al-N 系功能梯度薄膜的结合强度高于均质薄膜,且随着梯度的增加结合强度逐......
薄膜技术9908001 提高金刚石膜与硬质合金结合强度的新方法——LeeD G.Surface&CoatingsTechnology,1998,100~101(1~3)∶187(英文)在硬质合金上沉积金刚石膜,由于二者热膨胀系数失配,使金刚石膜内应......
针对梯度薄膜材料的特殊性,在平面应力近似基础上进行热弹性理论推导,结果表明,梯度薄膜材料的热应力极值由梯度薄膜材料本身的性质决......
实验证明Ti—Al-N系功能梯度薄膜在厚度方向上有金属Al,(Ti,Al)N和(Ti_2Al)N(110)三种相结构,在(Ti,Al)N相中又有(111)和(200)两种择优取向.随着氮分压PN的不断增加,薄膜中金属相含量急剧下......
采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3(BSZT)(x=0~0.40)组分及其成分梯度薄膜,研究各组分及梯度......
采用ZrO2、WO3复合氧化物和Cu靶材,利用磁控溅射法,通过改变溅射功率在单晶硅基片上分别制备1、3、5层Cu/ZrW2O8复合薄膜。通过X射......
在无蒸馏和无惰性气氛保护的条件下,快速制备了用于组合合成Pb(ZrxTi1-x)O3薄膜的前驱溶液PT和PZ。采用组合法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底......
利用射频溅射技术在平面单模玻璃波导表面局部淀积一层Ta_2O_5梯度薄膜,形成复合光波导芯片,结合棱镜耦合法制备了一种集成光偏振......
用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上制备了SiC单层膜和Ti/TiN双层膜以及Ti/TiN/SiC功能梯度薄膜。采用XRD和显微硬度计对薄膜的结晶......
通过溶胶-凝胶法制备了不同晶格位掺杂以及梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜,研究了A位Y、A"位Mg和B位Zr掺杂以及梯度掺杂对CCTO薄膜......
ZrW2O8作为一种重要的负热膨胀材料,在很大温度范围(0.3~1050 K)内,具有较大的各向同性负热膨胀系数(-8.9×10-6 K-1)。当ZrW2O8与C......
本文国内首次采用射频磁控溅射法在钛合金(Ti6A14V)表面成功溅射沉积制备得到羟基磷灰石(HA)薄膜骨种植体及HA/YSZ生物活性薄膜骨种植......
Ba1-xSrxTiO3(简称BST)是一种钙钛矿结构的铁电材料,具有介电常数适中、漏电流密度小、热释电性能优良以及居里温度可调等特点,是制......
快光是指在某体系中光的群速度比其在真空中的传播速度要快。反之,则为慢光。我们可以通过调节体系的某些参数而达到对光传播的控制......
功能梯度材料应用前景广阔 ,特别在 ICF研究中 ,梯度靶是一种重要的基础 -基准靶。以Cu2 O和 C60 为原料 ,用真空蒸镀法在石英基底......
期刊
国家自然科学基金委员会于8月19日发出《关于公布2011年度国家自然科学基金申请项目评审结果的通告》,我校付云龙的《高维数Cu(I)/Ag(I)......
在H13钢基体上制备了几种成分的CrNx双层膜和梯度膜.使用X光电子能谱(XPS)分析了膜层的成分,使用X射线衍射仪(XRD)分析膜层的主要......
在金属衬底(Al,钢,铝-碳纤维),Ni3Al)上用离子束增强沉积形成氮硅化物的梯度薄膜。在薄膜的一侧有很高的电阻(10^7Ω),而在另一侧电阻很低(1Ω),在绝缘层和导......
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料.卢瑟福背散射分析结果表明,铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化.在薄膜......
针对梯度薄膜材料的特殊性,在平面应力近似基础上进行热弹性理论推导,结果表明,梯度薄膜材料的热应力极值由梯度薄膜材料本身的性质决......
研究了利用液态源雾化化学沉积(LSMCD)法制备梯度钛酸锶钡(BST)薄膜的工艺。该方法既可以较精确的控制薄膜的化学计量比及掺杂浓度,又可......
采用增强阴极弧磁控溅射法在Si(100)片和WC硬质合金上制备了CrNx梯度薄膜。用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了CrNx梯度薄膜的结构......
在SRV试验机上用血清润滑对钛合金及钛基-Tin-TiC梯度薄膜与UHAMWPE摩擦副摩擦磨损性能进行了测试与比较,并对其磨损机理进行了分析。研究结果表明,钛基......
用对向靶溅射方法制行出氮化铁梯度薄膜。利用X射线光电子能谱(XPS)对样品进行了深度剖面分析,铁原子和氮原子的百分含量沿膜厚方向呈梯度......
在单晶硅基片上用磁控溅射法制备ZrW2O8/Cu梯度薄膜。用X射线衍射分析薄膜的物相组成,用原子力显微镜和扫描电镜对薄膜的表面形貌......
功能梯度材料应用前景广阔,特别在ICF研究,梯度靶是一种重要的基础-基准靶,以Cu2o和C60为原料,用真空蒸镀法在石英基底上制备了Cu2o/C60......
在对梯度功能材料的设计流程作了简要介绍的基础上,针对梯度薄膜的特殊性,对梯度薄膜设计中的特点进行了介绍,指出:在设计中应特别对薄......
本文研究了PECVD方法制备Si-O-M系梯度薄膜材料,并运用计算机控制技术成功地制备了涂层折射率随膜深成正弦波形式连续变化的Rugate单通带滤波器样品。......
梯度薄膜是一种涂覆型梯度材料,具有均质薄膜无法比拟的优越性。溅射法效率较高且环保,较广泛地应用于梯度薄膜的制备。对于反应溅射......
介绍了多弧离子镀在金属陶瓷表面沉积硬质梯度薄膜的技术,用X射线衍射法对表面形成的薄膜进行了物相分析,并对材料的金相显微组织、......
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电弧离子镀设备若具有必要的功能条件,就可用纯金属分离靶弧流控制技术来制取多元硬质梯度薄膜,本工作明确合成梯度薄膜的工艺原则......
本文通过溶胶-凝胶法制备高性能ZnO薄膜、CCTO薄膜和ZnO/CCTO复合薄膜,采用X射线衍射、扫描电子显微镜、原子力显微镜和X射线电子......