采用X射线测量硬质薄膜宏观内应力的拉伸法

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本文讨论了一种采用拉伸释放薄膜宏观内应力的X射线应力测量方法,并用此方法测量了含有梯度过渡层的TiN薄膜的内应力。 In this paper, an X-ray stress measurement method using tensile internal stress of film is discussed. The internal stress of TiN film with gradient layer is measured by this method.
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