微波等离子体相关论文
金刚石在力学、热学、光学、声学、电学、化学等非常多的方面都具有非常良好的物理化学性能,这就使得其表现出极大的应用潜力。目......
随着我国对油气和煤矿能源需求的日益增长,安全开采含H2S的油气田逐渐被提上日程。煤炭和石油加工企业为满足工业要求会通过不同的......
采用微波等离子体化学气相沉积法,在半开放式样品台上通过调整种晶在样品台中的凸出高度(Δh)实现了对微波等离子体中基团分布的调......
对硝基苯酚(PNP)广泛存在于水体中,且对生物体具有极大的毒性作用.吸附法被认为是去除废水中PNP的经济有效的方法,但吸附只完成了 ......
运用有限元法在大气压下建立耦合麦克斯韦方程的自洽三维流体等离子体模型,通过是否考虑分子离子发现二者电子密度的时空变化特征......
催化剂的粒径对其催化性能有很大影响,为了提高催化剂的性能及制备效率,提出了一种微波等离子体辅助溶胶凝胶法制备催化剂的方法,......
全氟化物气体(PFCs)中典型的温室气体SF6和 CF4在环境中的排放从长远来看对大气温室效应的影响非常大.大气压微波等离子体炬的稳定......
掺硼金刚石薄膜电极（BDD）是一种新型的电极材料，它具电化学窗口宽、背景电流低、电化学性质稳定、机械强度高等特点。本文用微波等离......
本文采用微波等离子体化学气相沉积方法（WMPCVD），借助Fe作为催化剂实现碳纳米管阵列定区域生长。扫描电子显微镜（SEM）分析结果表面，碳纳......
本文研究了在不同的微波谐振源(多模谐振和单模谐振)诱导下产生的微波等离子体对甲烷偶联的催化作用以及在0.01bar压力下单模谐振......
微波等离子体化学气相沉积法是一种理想的生长单晶金刚石的方法.本文以压缩波导结构微波等离子体源谐振腔为腔体,高温高压(HPHT)金......
等离子体发射光谱是探究等离子体参数、等离子体基团分布的有效工具.本文利用发射光谱技术对CH4/H2微波等离子体进行原位在线测量,......
硼掺杂金刚石薄膜电极（BDD）具有良好的导电性，是一种良好的电极材料，由于具有电势窗口宽、背景电流小、有机物易吸附、化学和电化学性......
基于微波等离子体原理构建了等离子体射流原子发射光谱仪(Plasma jet atomic emission spectrometry,PJ-AES),并建立了一种新型固......
为了更深入地了解化学气相沉积法合成金刚石,对化学气相沉积法合成金刚石的主要类型、合成的金刚石结构及主要形态和主要应用领域......
在气压40~80 Pa和微波功率400~800 W条件下,使用光学发射光谱法(OES)对Ar、CH4等气体产生的等离子体进行电子温度诊断。实验结果表......
离子体点火技术可通过降低油耗节约燃煤锅炉的运行成本，但在无烟煤锅炉上仍未成功应用。由于无烟煤石墨化度高，富含高键能的多环......
电极的机械稳定性对电极电化学检测性能的长期稳定性非常重要.本文利用微波等离子体化学气相沉积法在玻璃及半上集成了纳米碳管电......
本文利用微波等离子体化学气相沉积法直接制备了与电极基底结合良好的纳米碳管电极,并利用该电极对水中的对苯二酚进行了检测.结果......
研究了采用微波等离子体增强化学气相沉积技术生长的不同气体流量比R(R-O2/SiH4)的SiOx薄膜及其真空退火处理后的发光性能.结果表......
化学气相沉积法(CVD法)生长多晶金刚石膜,在二十世纪八十年代中期问世,单晶CVD金刚石在九十年代末开始有人研发,至2000年初成功,20......
本文简述了微波等离子体光谱分析仪器的最新进展，讨论了MPT等离子体的特性及相较于其他等离子体光源所特有的优点及其在元素分......
引言合成金刚石膜有许多种工艺,如碳靶的离子束喷溅法,烃类用氢稀释的射频或微波等离子体CVD法以及烃类的热钨丝CVD法。世界上正......
本文报告了采用微波等离子体进行化学气相沉积氮化钛(TiN)的工作。文中讨论了微波等离子体的动力学效应和热力学效应并阐述了氢在......
(类)金刚石薄膜是最近世界上出现的一种新型材料,它具有优异的机械特性、电气特性、光学特性和化学惰性,已引起许多科学家和各国政......
美国宾夕法尼西州立大学的材料科学家拉斯图姆·罗伊发明一种简便廉价的生产定型的金刚石或金刚石复合物的新方法,该法是在大气压......
在本世纪八十年代后期,在日本、美国等工业发达国家兴起了低压下人工合成金刚石膜的热潮,并已有沉积金刚石薄膜的车刀,金刚石膜做......
微波点火是一种具有发展前景的点火方式,然而目前的微波点火方法大多采用1/4同轴谐振腔作为点火装置,点火效果较差。为改进这种微......
This study investigated the hydrogenation of silicon tetrachloride(SiCl4)in microwave plasma.A new launcher of argon(Ar)......
本文详细介绍了自行研制成功的电子回旋共振微波等离子体装置的结构、性能和技术指标。并应用高斯计、法拉第筒和朗缪探针对装置的......
叙述了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体技术的基本工作原理、主要特点以及发展概况，着重从ＥＣＲ等离子体实验系统、工艺应用、诊断技术和机理研......
同轴表面波激励器和微波等离子体炬是两种获得微波等离子体（ＭＷＰ）的装置，本文比较了用这两种装置获得的ＭＷＰ作原子发射光谱法光源时的分析性能......
本文研究了在微波等离子体ＣＶＤ系统中，金刚石在Ｃ６０蒸发膜表面的成核行为，观察到金刚石晶核聚集现象，并且讨论了这种成核行为的产生机理。
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采用微波三探针研究了环形波导等离子体源阻抗特性随运行参数的变化。分析了微波等离子体源的阻抗特性。该方法有助于微波等离子体......
在加衬底偏压和不加衬底偏压两种情况下，用微波等离子体化学汽相沉积（Ｍ３ＶＣＶＤ）技术在Ｓｉ（１００）衬底上合成了织构的金刚石薄膜使用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和取向......
导出了工作于ＴＭ０１０模的圆柱形微波等离子体腔中等离子体与腔谐振频率关系的精确解析式和微扰近似公式，比较结果表明：在微波激励低气压气体......
利用高等离子体密度、高电子温度和高离化率的ECR微波等离子体增强二极溅射、磁控溅射反应沉积金属氨化物薄膜。实验结果表明，ECR微......
本文介绍了低压化学气相合成金刚石的历史、金刚石薄膜的沉积方法、特点及机理，阐述了国内外金刚石薄膜技术的发展动态。
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对用微波等离子体化学汽相沉积法沉积在Ｓｉ基片上的ＣＮｘ膜分别进行Ｒａｍａｎ散射、Ｘ射线光电子能谱、Ｘ射线衍射和扫描电子显微镜等技术的分析与测试．Ｒａｍａｎ散......
以纯铁和 38CrMoAl为例给出了用电子回旋共振微波等离子体氮化的实验结果 ,并给出了气体成分及配比、时间、温度、偏压等工艺参数......
利用微波等离子体方法在硅微尖阵列上生长了金刚石膜，并利用SEM和X射线衍射对金刚石膜进行了研究．
Diamond films were grown on si......
