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润湿性能是固体表面的重要特征之一,无论在人们的日常生活还是在工农业生产中它都发挥着重要的作用,如防雪﹑防污染﹑抗氧化和防止电流传导等,具有特殊润湿性能的材料一直是人们关注的热点。作为一种经济适用并且环境友好的光电器件材料,非晶碳薄膜因其众多优良的特性而引起广泛研究兴趣。因此,辅之以特殊的润湿性能,非晶碳薄膜必将发挥更大的优势。本文采用热丝辅助化学气象沉积系统(HFCVD),通过改变沉积工艺参数来控制非晶碳薄膜的生长,在单晶硅衬底上制备了不同厚度的薄膜和具有不同微观形貌的表面,系统地研究了各制备参数对