CVD法相关论文
WC颗粒表面包覆Ni、Co等金属可改善WC颗粒与金属的浸润性,提高烧结硬质合金的性能,是目前WC硬质合金领域的研究热点。WC抗高温氧化......
电子设备不断发展的需求刺激了具有稳定和高能量密度的先进储能设备的开发,而最先进的锂离子电池几乎达到了其理论值,面临进一步发......
采用CVD法制备了洋葱状富勒烯(Onion-like fullerenes,OLFs)粗产品,用真空热处理法和酸处理对其进行纯化处理.采用高温裂解法,得到......
本文结合热力学和晶核长大理论,采用CVD(Chemical Vapor Deposition)法实验提纯钛,并对实验过程的成核热力学因素进行了分析,研究......
实验用了化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛.对高纯钛制备中的形核过程进行了热力学和动力学分析,实验得出：沉积区温度应控制在1350～145......
本工作利用CVD的方法在AIN/Si(111)衬底上成功实现了4H-SiC薄膜的异质外延生长,用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)、扫描电子显微镜(SEM)......
目的：通过纳米碳管场致发射特性来研究CNT-FED型驱动电路的设计。方法：对CVD法制备的纳米碳管进行场发射测试,同时根据CNT-FED结构和......
石墨烯具有很多突出的物理以及电学性能，例如高的载流子迁移速率、电导率和透光率，这使得石墨烯成为一种新型明星材料.本文以煤......
本文将CVD法制备得到碳微球(Carbon Microspheres,CMS)利用浸渍还原法合成了Pt/CMS复合材料,Pt载量分别为10％,20％和30％.借助XRD,FESEM......
采用气相生长法研制金刚石薄膜正以惊人的速度转向实用化。然而,还存在不少不解之谜。等离子CVD法中这些需要解决的问题大致可归......
引言合成金刚石膜有许多种工艺,如碳靶的离子束喷溅法,烃类用氢稀释的射频或微波等离子体CVD法以及烃类的热钨丝CVD法。世界上正......
在ＣＶＤ反应器中超细粒子粒度分布控制模型化研究的基础上，进一步探讨了ＣＶＤ反应器中超细粒子的形成过程，详细分析了超细粒子的烧结和晶型转变......
通过过程分析导出了ＣＶＤ合成超细粒子过程的一般动力学方程，通过鉴别试验确立了ＣＶＤ合成超细粒子过程的两大特征，简化了过程动力学方程，并进而......
用新的催化ＣＶＤ法在约３５０℃的低温条件下研制出了ａ－Ｓｉ薄膜。本方法是利用催化剂，使ＳｉＨ４和Ｈ２混合气体在一定温度下反应而裂解，在衬底上沉积ａ－Ｓｉ薄膜。所制出......
用热丝 CVD法 ,以甲烷、氮气和氢气为气源 ,在 Si( 1 1 1 )衬底上沉积了C- N薄膜。用 X射线光电子谱 ( xps)、喇曼光谱 ( RS)、X射......
研究了热丝ＣＶＤ法金刚石薄膜本征内应力随甲烷的体积分数（０４％～１２％）、生长温度（８００℃～１０００℃）等生长工艺参数的变化关系。在所研究的工艺参数范围内，金刚......
一、引言化学气相沉积(CVD)技术和物理气相沉积(PVD)技术得到了迅速的发展,提供了抗摩擦磨损涂层的新前景。应用于以磨料磨损为主......
为了降低常规CVD工艺的加热温度,曾经作过不少努力。用等离子体促进的CVD工艺是近年来一项极有前途的进展。在常用的直流电源离子......
一、概述化学气相沉积法经过多年研究和生产实践,证明它是一种行之有效的表面强化热处理新工艺。在许多情况下,采用这种方法可以......
1、绪言所谓直流等离子CVD法,就是把反应气体TiCl_4、CH_4和N_2引入到由气体辉光放电产生的非平衡等离子体内,以提高反应离子的势......
一、前言 在我国,模具使用寿命一般较低,其原因除了设计、加工等方面以外,模具的表面性能也起着重要作用。表面涂层可以把基体的......
用CVD法化学蒸镀硬质材料经过最近几年的发展已获得重要应用。由TiC、TiN或Al_2O_3组成的硬质材料涂层作为硬质合金工具的耐磨保......
利用简单的化学气相沉积方法,首先在n-Si衬底上生长Sb掺杂p-ZnO薄膜,并在此基础上制作了p-ZnO/n-Si异质结发光二极管.对制备的Sb掺......
日本钢管公司(NKK)最近研究出一种薄钢板制造新方法(CVD)生产6.5％Si-Fe高性能磁性材料,在世界上首次获得成功。这种新材料可与非晶......
石墨烯玻璃是指表面生长有石墨烯的玻璃,它将石墨烯与玻璃的优异特性结合起来,具有良好的透明性、导电性、导热性和表面疏水性......
原子级厚度的六方氮化硼(h-BN)由于表面没有悬挂键被证明是优异的介电材料以及理想的范德瓦尔斯(van der Waals)外延衬底，可以......
CVD法所制备的金刚石薄膜自然地具有氢终端和负电子亲和势,非常有利于二次电子的发射.本文探讨了CVD法制备金刚石过程中,衬底温度......
超导薄膜制成的滤波器具有低插损，高带外抑制等优点，在移动和卫星通信系统中得到越来越广泛的应用。MgB2薄膜在低于39K时表现出超导......
石墨烯(graphene)是一种具有单原子层的二维晶体材料,是碳原子通过sp2杂化紧密堆积而成的,具有蜂窝状结构的特殊材料。这样的特殊......
一、前言 Nb_3Ge具有三高(高Tc、Jc、Hc_2)一低(低损耗)的优良特性,有着种种应用,其中要算Tokamak聚变动力堆和超导输电线方面的......
借助二次模板法成功的合成了AlN纳米线宏观阵列,并进行了表征.主要研究CVD法制备有一定取向,直径均匀的AlN纳米线宏观阵列的过程.......
Nb_3Ge的临界温度Tc最高(23.2K),它具有三高(高Tc、Jc、Hc_2)一低(低损耗)的优良特性。广为世界各国探索高临界温度超导工作者的......
研究了直流等离子体激光化学汽相沉积（ＣＶＤ）法合成金刚石膜的断裂强度。利用压力爆破技术测量了圆形金刚石膜的断裂强度。实验结果表明，断......
阐述了 微波等离 子化学 气相沉 积 方法 合成 金 刚石 薄 膜的 生长 规 律，并 对 薄膜 品质 作 了分析，指 出加强基 板预处理 、提......
热丝法是一种比较成熟的气相合成金刚石膜的方法,与其它方法比较,热丝法在工艺参数对金刚石薄膜的结构和质量的影响、界面的形成、......
采用微波CVD法对硬质含金表面金刚石的形核和金刚石薄膜的沉积进行了探索性研究，用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。研究了在硬质合......
采用直流电弧等离子体喷射CVD法制备出金刚石薄膜,利用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱及X射线衍射(XRD)等研究基底温度对金刚石厚......
在热丝化学气相沉积系统中，采用变压沉积金刚石薄膜，晶粒生长速率显著提高，而孪晶密度下降。......
使用热丝ＣＶＤ法研究了碳源种类、氧气含量、灯丝温度、基底与灯丝间距离及异常辉光放电等对金刚石膜生长速度的影响，在此研究的基础上，优......
在分析 Ｃ Ｖ Ｄ 法渗 Ｓｉ 制备 Ｆｅ６５ ％ Ｓｉ 合金薄板的实际工艺要求基础上，择定了母材的 Ｓｉ含量、扩散温度及气氛浓度·利用计算机模拟研究了在所......
