微机械技术相关论文
本文对表面微机械结构的氧化锌压电薄膜器件的关键工艺进行了研究。研究了表面微机械工艺,探索了合适的工艺规范。对如何在表面微机......
本文利用硅硅直接键合技术引入了一种完全采用单晶硅制作的静电激励的微机械谐振器,文中对静电激励力进行了分析,实测表明该谐振器频......
日本东北大学奔奇实业研究所简介东北大学奔奇实业研究所(见图1、图2)是根据日本政府1996年补充预算设立的“以大学院(研究生院)为中心推进独......
简单综述了微机械技术的先进性,该技术包括表面和本体硅微机械、电沉积和键合技术。给出了许多微型系统设计、生产和应用的实例,并对......
微电子机械系统与虚拟现实技术都是最新的技术生长点:将此两项技术结合,建立起微机械的虚拟现实系统,无论是对虚拟现实技术的应用,还是......
本文评述了微电子机械系统技术在通信领域中的潜在影响,预计这项技术将引发微通信卫星、光通信系统制造方法和使用方式的变革,同时......
着重介绍了硅MEMS加工技术中的表面牺牲层技术及其应用,并给出了我国MEMS 发展的概况。
The surface sacrificial layer technology and it......
目前的硅半板电容式探测器,由于工艺相当复杂,制作难度很大,另外由于目前硅材料的微机械技术只能形成200nm的平板电极距离,电容C......
利用表面微机械技术 ,成功制作了 1.3μm Si基 MOEMS可调谐光滤波器 .原型器件在 5 0 V的调谐电压下 ,调谐范围为 90 nm.该技术可......
本文将微机械加工技术引入细胞流变学研究领域,利用集成电路光刻和异向腐蚀工艺,在硅晶体表面形成了亚微米级精度的通道,建立了一......
1.通产省从1991年开始实施一项新的大型项目“微机械技术”的10年研究开发计划。该计划总投资为250亿日元。主要研究开发内容为:(......
超细显微管的开发与应用超细显微管作为微机械和电子产品小型化所需要的高技术材料,近几年受到了科技和工业界的广泛重视。微机械是......
1.前言在医疗方面尖端技术的应用,看起来无止境,与其说生物体整体,不如说以个别细胞的功能和结构为对象不断进行研究.在这个意义......
在80年代后期,国际高技术领域出现了一个值得重视的发展新动向——微机械技术(micromechanism),即微机电系统(micro-electro-mecha......
日本通产省工业技术院产业科学技术开发计划“微机械技术的研究开发”,从1991年开始,为期10年,研究总经费250亿日元。研究的主要......
微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革,惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界,人们已能象生产集成......
本文介绍了微米/纳米科学与技术的含义、意义、国内外发展概况、微米/纳米机械的特征以及它的应用领域,这对开展该领域的研究具有......
纳米科技是21世纪快速发展的主流科技之一,包括:纳米材料、纳米装置、纳米区域的探测和研究等。一、纳米科技研发投入持续增长2005......
1997年4月28日至4月30日在加拿大温哥华召开了world Micromachine Summit’97会议。美、日、德、中等13个国家和地区的代表介绍了......
微型机电系统技术是一个新兴的技术领域。本文介绍了微电子机械系统 (MEMS)的特点和关键技术 ,讨论了MEMS的应用 ,并阐述了MEMS的......
随着微电子技术和微机械技术的日新月异,国际上已兴起小卫星热。这种质量在500千克以下的小卫星,具有很强的星上处理和自主能力,......
微夹钳是最典型的微执行器,它可以充当机器人手爪,配合各种多自由度驱动装置成为微机器人。微夹钳单元技术与微装配、微操作、微焊接......
对医用内窥镜的现状和发展作了简短评述,指出了传统内窥镜人为植入的不足之处及微型机电系统(MEMS)应用于内窥镜系统的可能性,介绍了国际上......
微机电系统(MEMS)是由微型的驱动器、执行机构、传感器等构成的微系统,具有体积小、能耗低、性能可靠等特点。近年来随着微电子技术、......
由于微电子技术和计算机技术的迅速发展及其向机械工业的渗透所形成的机电一体化,使机械工业的技术结构、产品机构、功能与构成、......
从机械工程的扩展领域着手研究并制作和测试了许多微机械样机。弄清了微机械的部分特性和研究课题,并就这些方面进行概述
From the......
微机械的研究开发上海交通大学徐锡林近十年里,人们应用半导体集成电路工艺相继制作出了尺寸在微米量级的微型齿轮、弹簧、连杆等,尤......
提出了一种新的微纳米传动机构及其传动比的设计计算方法,并为实验所验证.介绍了一种亚微米量级的闭环测控系统,工作稳定可靠,测控精度......
1.机电一体化 机电一体化((Mechatronics))最早起源于日本。由Mechanics(机械学)与Electronies(电子学)“取前补后”融合而成。 ......
机电一体化及其衍生概念的定义(或约定)较混乱,本文论述了机电一体化及其几个衍生概念,旨在为机电一体化及其相关概念(术语)的标准化做些......
阐述了机械制造业的机电一体化技术、CIMS 系统和微机械技术,讨论了机械制造业的发展趋势。
The mechanical and electrical integ......
高科技中国际微机械技术的崛起肖英奎,崔占海,于洪岩80年代后期,国际高科技领域内出现了一个值得重视的发展新动向──微机械技术。何为......
机电一体化的概述,首先对机电一体化的产生、应用及发展现状进行简单介绍,说明了机电一体化的发展趋势:智能化模块化微型化网络化......
日本通产省工业技术院今年的科学研究主攻方向是进一步推进微机械技术的联合研究开发工作。 为到1995年能够确立微机械的基础技术......
一种新型的硅微机械F P腔可变衰减器 ,具有体积小、插入损耗低、调节精度高等优点 ,介绍了其基本结构、基本原理。分析了F P腔两个......
提出了一种基于微机械技术的微型电场传感器.该器件由振动部分和感应电极组成,通过静电梳齿结构驱动,并利用溅射到衬底的栅状金电......
实验证明可以做出转子直径为0.1mm的电动电机,它为微系统的发展开辟了前景。在用IC工艺做出的材料上形成机械结构,并由此做出精细......
八十年代以来,微机械加工技术受到人们的重视和研究,取得了很大进展,该文对微机械技术的发展,及其对科学、技术各个领域的重要影响做了......
该文介绍了一种制作硅立体多层微结构的体微机械加工新技术。基于使用KOH溶液的无掩模腐蚀特性,通过设计一块掩模版和进行一次有掩模到......