【摘 要】
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MEMS技术将是 2 1世纪科技与产业的制高点之一 ,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。微细加工技术在传统光刻工艺的基础上 ,又发展了灰调光刻、Lift Off、LIGA及准LIGA、
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MEMS技术将是 2 1世纪科技与产业的制高点之一 ,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。微细加工技术在传统光刻工艺的基础上 ,又发展了灰调光刻、Lift Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术。本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况 ,并介绍了微细加工技术和MEMS的发展趋势
MEMS technology will be one of the commanding points of technology and industry in the 21st century, and microfabrication technology is an important foundation for the development of MEMS. Based on the traditional photolithography process, micro-fabrication technology has developed new technologies to adapt to three-dimensional structures, such as gray-tone lithography, Lift Off, LIGA and quasi- LIGA, laser and molecular assembly. This article summarizes the current domestic and foreign various micro-processing and its key technology research status, and introduces the micro-processing technology and the development trend of MEMS
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