微加工技术相关论文
微流控技术是指在微通道内处理或操纵微小流体的技术。是一门涉及化学、流体物理、微电子、新材料、生物学和生物医学工程的新兴交......
由于在通信、安检等领域的广阔应用前景,聚焦于太赫兹信号的产生、探测、调制及传输的太赫兹技术在近些年发展迅速。滤波器在太赫......
人们早就认识到,如果将现有的速调管(一种微波电真空器件)缩尺到微米量级,就可以产生太赫兹(THz)辐射.然而,由于传统加工技术的限......
本文报道了开发LED防眩光装置的初步结果.基于微加工技术,通过光学传输模型和图像处理算法模拟,设计出基于薄层有机聚合物光学材料......
人们早就认识到,如果将现有的速调管(一种微波电真空器件)缩尺到微米量级,就可以产生太赫兹(THz)辐射.然而,由于传统加工技术的限......
本文介绍了一种新型硅红外光源,它采用硅的微机械加工技术制作,具有高辐射效率,高输出功率,快速响应的优点.为红外光源的陈列化、......
Abrikosov磁通量子一般出现在第二类超导体的混合态中,以量子化的磁感线形式穿过超导体,周围由超导环流围绕。磁通对周围条件的敏......
利用微加工技术,在SOI上制作出了高Q值的光子晶体微腔,Q值可以达7×10~4以上,为后续的光与物质相互作用和量子信息方面的实验奠定......
近年来,研究者把微生物技术和微加工技术结合起来构成微电子机械系统(MEMS)用于临床诊断、生物化学检测和生物细胞监控。该MEMS将对分......
本文评述了微电子机械系统技术在通信领域中的潜在影响,预计这项技术将引发微通信卫星、光通信系统制造方法和使用方式的变革,同时......
近场是指高物体表面波长范围量级内的电磁场,除包括熟知的传导波以外,还包括强度随着距离增加呈指数衰减的衰逝彼。普通光学显微镜探......
在过去的几年里,结构紧凑、用户满意的全团化超快激光光源取得了很大的进展,导致了许多新的、令人激动的应用。其中之一就是飞秒和皮......
提出了用虚拟现实技术实现MEMS的快速原形设计的思想,并具体给出了虚拟环境中的实现步骤。核心是在虚拟环境中实现MEMS器件的部件设计,拟实组......
提出了一种利用特征提取来对硅中微/纳米级体缺陷的激光散射图样进行分析,以获得缺陷大小信息的分析方法。给出了该方法中第一特征值......
应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术 ,制作了新型 2× 2扭转微镜光开关阵列 ,并研究了其在外加静电场和交变电场中的......
概述了聚焦离子束直接写入、离子研磨、离子注入及离子沉积技术。介绍了利用聚焦离子束技术在镀金硅片上研磨出的图案及制作出的各......
日本电报和电话公司(NTT)日前开发成功了采用电子束蚀刻法的三维微加工技术,加工精度实现了全球最小的线宽(10纳米),并利用此技术......
运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工,以规整的三维齿状微结构作模板,获得可有效CELT加工的化学刻蚀......
一、前言从各种电子材料的分析中,本文拟就硅半导体、化合物半导体有关的分析作一综述。在半导体工业领域,当前需要研究的课题有......
2006年3月29日,Surface Technology Systems plc公司宣布已接获来自微机电系统(MEMS)生产设备制造业者价值超过两百万英镑的订单。......
在波长范围跨越高达10个数量级的电磁波段中,波长介于30μm~1mm的太赫兹(Terahertz,THz)辐射,这一曾被称为“THz空白”的电磁波段领......
纳流控学和纳流控芯片应用于化学和生化分析的研究近年来取得了长足的进展。纳流控的基础和应用研究以纳流控芯片的研制为基础,而......
针对复杂结构和图案的飞秒激光微加工,提出了一种基于BMP图像边缘跟踪的飞秒激光微加工方法.介绍了采用该方法实现复杂图形飞秒激......
随着微加工技术和微分析技术的发展,人们已经可以把大型的机电系统或者光学系统微型化并进行某种程度的集成。但是,由于光学元件和......
飞秒激光制备微透镜及其在双光子荧光显微成像中的应用飞秒激光微加工技术具有超高的加工精度和对透明材料三维加工的能力,在当代......
微机电系统(Microelectromechanical Systems,MEMS)的出现和发展与集成电路技术紧密相连.集成电路制造技术是MEMS技术的基础制造技术。......
报道了利用出射面加工有微棱锥结构抗反射层的GaP晶体THz发射器产生超快THz脉冲.基于微结构界面等效折射率渐变原理,设计并利用超......
本文基于微细加工技术中的深反应离子刻蚀(DRIE)技术设计了一款中心频率在0.355THz的E面3d B四分支矩形波导定向耦合器。利用奇偶......
回音壁模式(WGM)谐振腔通过圆形界面全反射的方式来限域光子,具有高的品质因子和小的模式体积非常适合用于微纳尺度上相干光源......
通过将罗丹明6G 掺入用光引发剂2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)丁酮和季戊四醇三丙烯酸酯混合而成的光刻胶中,基于飞秒激......
目前,超短激光打孔时,往往锥度过大,加工质量和效率低下,深宽比满足不了要求.为此,本项目提出了超声波辅助的飞秒激光复合微加工工......
光学微腔在传感、通信和激光等领域都具有广泛的应用前景。最近,亚波长直径的微光纤的制备技术的发展使得基于光纤的微腔成为可......
航天器处于外太空环境中,经受高低温、综合辐照、原子氧、等离子体等复杂的环境,需要特定的防护薄膜;航天器在轨运行过程中,无法维......
本刊2012年第4期的“数理结合再巧解一道全国26届物理竞赛题”一文,利用直角三角形知识求解,确实比较简单,读后颇受启发,而若直接利用......
随着人们对自身健康关注度的增加,市场对实时监测人体状态的电子产品的需求正在持续增加,并推动着柔性电子技术的研究与应用的快速......
源于上个世纪中叶的以硅材料为核心的半导体微电子技术的出现已经彻底地改变了人们的生活方式。在上个世纪,半导体微电子技术始终......
随着对通信带宽要求的提高,急需发展一种全光网络.其中一个重要的部分就是目前开关的替代品,它必须能够将光信号转换成电信号,然后再......
微型加速度计是一种新型的加速度计,它采用固体集成电路的微加工技术,将加速度计的敏感元件及其电子线路集成在一块硅片上,或者分......
原子力显微术(AFM)是近年来新发展的一种高清晰度的显微技术,它能显示出物体表面附近的势能分布,并根据这种分布,可以直接描绘出物......
本文主要介绍了衍射光学元件在激光系统、光学互连、波前探测、目镜设计和扫描系统上的应用,以及目前技术上的热点。
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