【摘 要】
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提出了一种新的微纳米传动机构及其传动比的设计计算方法，并为实验所验证．介绍了一种亚微米量级的闭环测控系统，工作稳定可靠，测控精度高，为微驱动器的研制成功打下了坚实基础，确保
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提出了一种新的微纳米传动机构及其传动比的设计计算方法，并为实验所验证．介绍了一种亚微米量级的闭环测控系统，工作稳定可靠，测控精度高，为微驱动器的研制成功打下了坚实基础，确保其性能技术指标达到了设计要求．
A new micro-nano transmission mechanism and its transmission ratio design and calculation method, and verified by the experiment. A closed-loop measurement and control system with sub-micron level is introduced. It has stable and reliable operation and high precision of measurement and control. It has laid a solid foundation for the successful development of micro-drive and ensured that its performance technical indexes meet the design requirements.
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