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环境气氛以于直拉硅单晶生长过程中的热量传输以及生长过程的影响
【机 构】
：
大学硅材料科学国家重点实验室(杭州)
【出 处】
：
第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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