【摘 要】
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晶体内热应力是影响太阳能级单晶硅性能的关键因素之一。本文通过对晶体生长过程中热量的散失方式与晶体内应力之间的关系进行研究。结果表明,在晶体生长初期,晶体内热量主要
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晶体内热应力是影响太阳能级单晶硅性能的关键因素之一。本文通过对晶体生长过程中热量的散失方式与晶体内应力之间的关系进行研究。结果表明,在晶体生长初期,晶体内热量主要通过籽晶传热、晶体肩部表面散热和晶体侧表面散失来进行交换。因此,在晶体籽晶下方、肩部下方和晶体侧表面均出现较大应力区域;随晶体生长的进行,热量传输方式转变为以晶体侧表面散热为主,这也导致晶体内最大应力值均集中在该区域。同时,晶体内最大应力值随晶体长度的增加而逐渐降低。
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