单晶硅相关论文
单晶硅是半导体工业技术发展的核心,广泛应用于集成电路制造业,其表面质量对半导体器件的性能有重要的影响。化学机械抛光（CMP）技术......
本文介绍了一种光伏光热联合布置的节能增效技改方案，根据项目背景以及方案系统整体设计目标、设备选型，确定固定式太阳能真空管和固......
单晶硅是一种典型的硬脆光学材料,具有纯度高、密度小、热传导性好、热膨胀系数低等一系列优点,在微机电系统、集成电路、高能激光......
单晶硅在常规车削过程中难以实现高质量表面加工,具有高脆性和低韧性的特点。传统加工方式效率低,容易产生表面及亚表面裂纹。激光......
以激光辅助条件下单晶硅的金刚石车削为对象，建立了激光辅助加热的温度场模型，利用COMSOL软件模拟得到单晶硅表面及亚表面的温度场分......
基于分子动力学，利用LAMMPS和OVITO软件对单晶硅纳米切削过程进行模拟，研究了V形微沟槽结构对金刚石刀具切削性能的影响。结果表明，在......
针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题，提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型，可以在掉苞现象发生之......
在对材料的微/纳米级表层压痕硬度测试中,压痕周围出现的凸起对硬度的计算结果有很大的影响。采用压痕功法,通过载荷-压深曲线直接......
以P型单晶硅太阳能电池制绒为研究对象，研究应用3D电子显微镜观察、反射率分析、电性能分析等方法，揭示不同制绒工艺参数下单晶硅绒......
采用银金属催化化学腐蚀（Ag-MCCE）技术在碱腐蚀的金字塔微米初级绒面结构上制备均匀的纳米次级绒面结构，并研究银纳米颗粒在微米金字......
单晶硅由于良好半导性能及红外光谱特性,使其广泛应用于集成电路及红外光学系统中。高质量表面及无亚表面损伤的硅晶片需求日益增......
激光诱导周期性表面结构是一种发生在激光与物质相互作用过程中的现象,在线性偏振激光辐照下的金属、半导体以及介电材料表面均有......
学位
单晶硅由于其独特的物理化学性质,在集成电路（IC）、微机电系统（MEMS）、先进的红外光学和光电等领域有着广泛的应用,包括热成像透镜、光......
化学机械抛光法是制作超光滑单晶硅镜片的常用工艺，抛光过程中的各类杂质粒子经常会导致加工表面产生划痕，降低镜片的表面质量。为系......
单晶硅元件作为集成电路制造中的基础材料,是半导体工业的核心与根基,其表面质量的高低直接影响着集成电路的整体性能。单晶硅材料......
微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS）是一种尺寸达到微米甚至纳米量级的装置,在航空航天、通讯技术、生物医学以及国......
从过渡态理论在摩擦学领域得到应用以来,有关何种应力主导机械化学反应发生的争议一直存在,确定机械化学反应中的主导应力对推动机......
单晶硅是一种半导体材料,被广泛应用于微电子领域,传统加工手段主要以光刻技术、化学刻蚀为主,仅能加工2维或2.5维结构,相比之下,......
研究了从亚皮秒到皮秒范围内的不同脉宽和不同能量密度的激光作用下单晶硅材料表面瞬态光学性质的演化规律.这项工作基于考虑了相......
针对某类牌号的单晶硅材料在放电加工系统中无法实现放电的问题,本文提出一种单晶硅放电加工临界电导率σ的界定方法,系统性地揭示......
随着科学技术的快速发展,光滑或超光滑表面元器件在社会各个领域的需求与作用越来越大,在光学领域的标准中,用来反射与折射的光学......
集成电路芯片快速分割是半导体器件制造的关键工艺.通常采用固定的单点金刚石刀刃划线切断,但其过程会产生不规则裂纹,损害芯片电......
随着现代科学和技术在微电子学、精密光学等领域中快速发展进步以及云计算、大数据和物联网等产业的快速兴起,具有特殊性能的单晶......
为阐明双金刚石磨粒在三体抛光过程中的抛光机理、材料去除机理以及单晶硅原子的演变机理,研究建立了三维的三体抛光模型,利用分子......
随着光电对抗和超短脉冲激光技术的发展,研究超短脉冲激光与单晶硅相互作用具有非常重要的理论和实际意义.为了进一步明确532 nm皮......
单晶硅由于其红外透过率良好、折射率高、色散好、熔点高、导热性好、材料均匀性好、密度低、化学性质稳定等特点广泛应用于航空航......
X射线自由电子激光、红外激光系统作为重要的战略资源,其发展建设对国防具有重要意义。随着应用领域的拓宽和用户需求的提升,对激......
单晶硅（Si）具有优异的物理机械性能,被广泛的应用于微电子行业。然而,由于其高硬度高脆性的特点,单晶硅内总是包含裂纹夹杂等一系列......
碳化硅、单晶硅、蓝宝石以及光学玻璃等硬脆材料具有高硬度、高耐磨以及良好的化学稳定性和电学特性,广泛应用于现代装备和电子领......
多晶硅是电子信息产业和光伏新能源产业的基石。使用改良西门子法生产的多晶硅产量约占全球多晶硅总产量的80%。改良西门子法又称......
在全球信息化产业蓬勃发展的今天,集成电路至关重要,其与国家经济安全和社会发展密切相关,而单晶硅则是集成电路生产制造最重要的......
为提高单晶硅材料微细加工过程中表面质量和单晶硅零部件的使用寿命,采用直径为0.9 mm、电镀500#金刚石磨粒的微磨棒沿单晶硅(100)......
叉指背接触式(IBC)太阳电池因正面没有金属栅线遮挡,具有较高的短路电流,且组件外观更加美观.但由于IBC太阳电池正负电极在背面交......
以单晶硅为对象,使用波长355 nm、脉宽15 ns的纳秒激光对单晶硅进行烧蚀加工试验研究.基于单因素法设计并完成了单晶硅纳秒脉冲激......
晶体硅具有复杂的相变机制,在相图研究中受到广泛关注,其在动载荷下的变形机制是当前研究热点.为揭示晶体硅在强动加载下的变形和......
晶体硅表面钝化是高效率晶体硅太阳能电池的核心技术,直接影响晶体硅器件的性能.本文采用第一性原理方法研究了一种超强酸-双三氟......
单晶硅晶圆广泛应用于集成电路制造领域。超薄晶圆是实现硅通孔三维（TSV-3D）封装技术、提高芯片集成度的必要条件。超精密磨削凭借高......
为了满足人类视觉体验和传递再现真实的色彩信息,追求高性能和多功能的色彩显示成为了显示领域的目标之一。受到自然界中一些动植......
由于经济的迅速发展和生存环境的改变,寻求绿色、环保、可再生的替代能源是人类社会发展的必要条件。氢气是目前最理想的能源替代......
高能激光与单晶硅相互作用的研究在激光微加工、太阳能电池、光电探测器以及集成电路等应用领域有着重要的价值。目前,各类激光与......
