亚表面损伤相关论文
在CFRP/Ti叠层构件制孔加工过程中,两种材料之间不可避免的存在相互影响,尤其是钛合金会对CFRP的制孔过程产生影响。首先,为研究CF......
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单晶硅由于良好半导性能及红外光谱特性,使其广泛应用于集成电路及红外光学系统中。高质量表面及无亚表面损伤的硅晶片需求日益增......
随着各种玻璃陶瓷体系不断被研究完善,玻璃陶瓷已然成为当前最具发展潜力的陶瓷材料之一,白榴石玻璃陶瓷具有较高的机械强度、断裂......
石英玻璃凭借强度高、耐磨性好、热膨胀系数低等优异的物理性能,在高能激光器、特种光源、半导体等行业应用十分广泛。石英玻璃在......
镍基单晶高温合金具备优良的耐高温特性,作为目前制造航空发动机和燃气轮机叶片的主要先进材料,能大幅度地提高其高温强度和工作寿......
单晶硅晶圆广泛应用于集成电路制造领域。超薄晶圆是实现硅通孔三维（TSV-3D）封装技术、提高芯片集成度的必要条件。超精密磨削凭借高......
近年来,碳化硅作为第三代半导体材料,因其密度适中、耐热冲击性好、抗辐射能力强等一系列优良的物理性质以及良好的化学稳定性而得......
光学元件亚表面损伤直接影响光学系统激光损伤阈值,损伤深度是衡量亚表面损伤的关键参数之一,目前尚无成熟的快速定量测量方法.基......
将研磨加工中磨粒与工件表面作用过程近似为受法向载荷和切向载荷共同作用下移动的尖锐压头对表面的作用过程，基于压痕断裂力学理论......
为了提升单晶碳化硅(SiC)材料的抛光效率及表面质量,提出了将传统抛光与磁流变抛光(MRF)相结合的新方法,并对一块直径为100 mm的单......
光学元件的亚表面损伤指的是在加工过程中产生的划痕和裂纹等。在激光的照射下，亚表面损伤会使光场发生变化，并且随着激光照射时间的......
在光学玻璃的研磨加工中不可避免地会产生亚表面损伤，这会对元件的寿命及性能产生影响。在光学元件加工工艺优化过程中，HF 化学蚀刻......
石英玻璃在研磨过程中引入的亚表面损伤影响着下一步工序的去除量和加工效率,对于研磨石英亚表面损伤开展三维检测能够更加准确地......
本文以抛光表面模型为理论,分析了基片表面损伤产生的机理,设计正交实验,得出了基片表面损伤产生的主要因素.通过改进清洗工艺,制......
光学零件的亚表层损伤直接影响到光学零件的使用性能、长期稳定性、抗激光损伤阂值和使用寿命等重要性能指标，而造成这些危害的......
石英玻璃在研磨过程中会不可避免地产生亚表面损伤,对石英玻璃亚表面损伤的检测一直是石英玻璃加工工艺优化中的热点.本文结合偏振......
为提高空间反射镜分辨率而不断增大反射镜口径,导致发射成本大幅增加,镜体背部支撑结构优化减薄和镜面面型精度保证都需要后续机械......
在传统光学加工过程中产生的亚表面损伤（SSD）会降低光学元件的使用性能和寿命，需要对其亚表面损伤进行检测从而在加工过程中加以控制......
根据接触力学原理建立了固结磨料研磨的平均切深模型,估算了不同粒径磨料作用下平均切深。依据磨粒平均切深值,采用离散元法对镁铝......
本文通过测量ＳＩ－ＧａＡｓ抛光晶片及其本体（腐蚀了晶片的亚表面损伤层）的Ｘ射线回摆曲线ＦＷＨＭ，与抛光晶片的ＴＥＭ观测相结合，作出晶片回摆曲线ＦＷＨＭ的比率Ｒ与ＴＥＭ观测的晶......
采用ＴＥＭ、ＸｒａｙＲｏｃｋｉｎｇＣｕｒｖｅ等测试的方法，对ＧａＡｓ晶片化学机械抛光后亚表面损伤层引入的深度进行了分析，探讨了碱性ＳｉＯ２胶体水溶液加入不同浓度的电解质（ＮａＯＣｌ）后所发生......
提出了一种改进的角度抛光方法来测量硅片的亚表面损伤.其原理是:经过研磨和化学机械抛光后,起保护作用的陪片靠近胶黏剂的一端形......
基于激光热裂纹控制法,提出了多焦点激光分离厚透明材料的方法。通过理论计算与ZEMAX软件模拟相结合的方式,设计了能形成三个焦点......
为进一步揭示切向超声辅助磨削过程中硬脆材料的表面及亚表面损伤机理,基于应变率模型对其磨削过程中材料的动态力学性能进行分析,......
为研究CFRP/Ti叠层构件螺旋铣孔加工时切削温度对亚表面质量的影响,采用CFRP孔下方有无钛合金的两种加工方式,对比分析两种加工方......
自由基等离子体源(Radical Plasma Source,RPS)在反应区之外合成等离子体,然后在电场、磁场、气流的作用等将等离子体引入反应区,......
硅(Si)晶圆广泛用于半导体工业中的集成电路构造。随着大规模和超大规模集成器件的应用,迫切需要更大尺寸和更薄厚度的Si晶片,从而......
由于光学石英玻璃具有一系列的优良特性,在精密仪器仪表等高端制造领域有着较为广泛的应用,然而其硬脆的物理特性,在加工过程中容......
SiC陶瓷具有诸多优异的性能,在汽车、国防等领域有着非常广泛的应用。但由于其高硬脆性及高耐磨性等特性,磨削加工过程会造成严重......
单晶氧化镓（β-Ga2O3）作为新一代半导体材料,其具有超宽禁带、高击穿场强、导电性能优异和深紫外波段透射率高等优良物化特性,在高频......
激光器作为国防、工业和医疗等领域发展的关键器件,得到越来越广泛的应用,这也对激光器的使用性能提出了更高的要求。而激光晶片作......
先进陶瓷材料被广泛的用于新一代空对地光学信息收集系统中,应用这种材料的光学系统具有良好的热稳定性和高的刚度/重量比。碳化硅......
随着高功率激光系统和大型光学系统的发展,对于光学元件的稳定性、成像质量、镀膜质量和抗激光损伤阈值等性能指标要求更加严苛,而......
随着现代光学事业的迅速发展,超精密光学产品已经广泛应用到了各种高新技术行业,尤其是大尺寸光学元件在航空航天等领域有大量的需......
基于激光晶体的光学元件是大功率光学工程中的基础性元器件,其激光损伤阈值极大地决定了整体系统的寿命,极限性能和稳定性等。然而......
具有耐腐蚀、热膨胀系数低等诸多优良物理化学特性的石英玻璃在高性能光学系统中被广泛使用。其要求元件达到纳米级的表面粗糙度,......
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磁流变确定性修形具有高精度、高效率、高表面质量以及近零亚表面损伤的特点。介绍了磁流变修形技术的基本原理和方法,并对磁流变......
应用分子动力学仿真研究了原子量级条件下磨粒钝圆半径、磨削深度和磨削速度对单晶硅磨削后亚表面损伤层深度的影响.分子动力学仿......
为了进一步揭示超声振动辅助磨削加工机理，建立了超声振动辅助磨削亚表面损伤深度与断裂韧性的预测模型，设计几何形状随机的单颗磨粒......
光学材料在加工的过程中会引入亚表面损伤，对材料的使用性能造成很大的影响。因此，亚表面损伤的检测就必不可少。本文主要就亚表面损......
HF恒定化学蚀刻速率法和角度抛光法是常用的两种亚表面损伤破坏性检测方法。本文通过对传统的两种方法进行改进，降低了外界环境和操......
蓝宝石晶体具有强度高、硬脆性大、耐高温、耐化学腐蚀、抗磨损等优良性能,在半导体照明、国防军工、航天航空和智能穿戴消费电子......
