硅基光学元件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅基光学元件相关论文

面向硅基光学元件超精密修形的等离子体加工系统设计

复杂光学元件的高效率、无损伤加工一直是超精密加工领域的研究热点和难点。大气等离子体加工技术作为一种非接触式确定性加工技术......

学位

硅基光学元件大气等离子体加工随机路径中频误差抑制

自由基等离子体刻蚀硅基光学元件特性研究

自由基等离子体源(Radical Plasma Source,RPS)在反应区之外合成等离子体,然后在电场、磁场、气流的作用等将等离子体引入反应区,......

学位

自由基等离子体硅基光学元件刻蚀特性表面粗糙度亚表面损伤

看过本文同时还关注