氮气氛下直拉硅单晶的杂质控制

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通过改变埚转、氮气流量及多晶熔化时间等拉晶参数,便能简单而有效地控制其氧碳氮杂质,并在实际生产中运用获得成功。 By changing the crystal pulling parameters such as crucible rotation, nitrogen flow rate and polycrystalline melting time, it can control its oxygen and carbon impurity easily and effectively and achieve success in actual production.
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