Φ200mm和Φ450mm直拉单晶硅生长过程有限元模拟研究

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进入21世纪以来,人类的生存与发展面临巨大的挑战,同时也伴随着巨大的机遇。石油、煤炭、天然气等资源日益减少,同时化石燃料在燃烧过程中生成大量有害产物对人类生存环境造成了难以估计的恶劣影响,系统地开发利用清洁可再生能源迫在眉睫,而太阳能是一种取之不尽用之不竭的清洁能源,光伏产业有着广阔的发展前景。与此同时,半导体产业及电子工业迅猛发展,人类进入信息化时代,信息交换及处理方式发生了数字化、网络化、智能化的根本性变革。单晶硅作为光伏产业及信息产业的基础材料,其质量直接决定着产品寿命和使用性能。实验研究和实
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