微机械电子系统相关论文
谐振式MEMS(微机械电子系统)传感器具有高精度、快速响应、小尺寸等特点，已广泛应用于化学量、物理量以及生物量的实时测量，且其谐振......
采用理论计算和专用计算机辅助设计软件,研究了膜桥结构RF MEMS开关梁的厚度、长度、弹性系数和空气间隙等结构参数对阈值电压的影......
提出一种新型的由静电驱动的微型操控系统,可用来夹持50~200μm的微粒.文中阐述了用碳纤制做微型镊子的过程,对其电压-位移进行测......
阐述了MEMS器件测试的现状,提出了一种基于虚拟仪器和传统仪器相结合的MEMS器件加工过程在线监测系统.该系统能对MEMS器件的结构形......
讨论了微机械力学性能测试仪的加载机构设计.首先建立了柔性铰链的力学模型,而后建立加载机构的力学模型,运用遗传算法优化结构参......
DEM技术是由上海交通大学开发出来的一种全新的三维微细加工技术.本文旨在研究DEM技术中利用反应离子刻蚀(RIE)深层刻蚀塑料PMMA的......
微光机电系统通常采用紫外或X射线光刻技术制作,不同于一般的集成电路加工,其所用光刻胶之厚度达数十微米以上,因此有必要对用于微......
介绍了欧洲各国MEMS的发展现状.本文分别从政府、大学及研究机构的角度介绍了欧洲各国MEMS的研究方向、机构设置、相关产品和工艺......
提出了一个用于计算硅各向异性腐蚀速率的新方法.此方法从微观角度出发,根据实际的腐蚀化学反应过程确定了若干微观状态,根据统计......
采用面向对象技术,研究了用统一建模语言对基于"Top-down"设计和"Bottom-up"修正的MEMS集成设计平台的建模技术,并讨论了采用......
介绍了目前处于国际前沿领域的RF MEMS技术动态.且对加工工艺、加工手段,以及在加工、封装和应用中所面临的技术难点作了详细介绍.......
系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节.本文提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型,介绍MEMS系统级仿真的MWR建模原理与......
报道了硅化物在表面微机械中应用的实验研究.由于硅化物可以降低串联电阻和接触电阻,对于改善RF MEMS和微开关的动态特性是很有利......
随着微型机电系统(MEMS)的迅速发展,对生产MEMS的微细加工设备的需求也越来越大.本文重点介绍深度光刻机中的掩模和硅片间的菲涅耳......
目前对MEMS开关和移相器的研究非常活跃.但是大部分的研究工作都集中在设计不同形状的开关结构和开关制作上,对开关静电力模型的研......
结合微陀螺的设计,提出了一种新的"Top-down"集成设计方法,并研究了从MEMS器件的三维实体模型自动生成二维版图文件的关键技术,......
简要分析了微操作机器人系统的体系结构,在此基础上介绍了所研制的微操作机器人系统,该系统具有视觉监控和双向力反馈功能,采用自......
提出了一种用于MEMS工艺的DRT金属剥离新技术.采用双层普通正性光刻胶,两次曝光,再用甲苯处理,使光刻胶断面上宽下窄,表面呈倒角悬......
为了提高灵敏度，提出一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器.分析该结构差分检测的原理，推导该设计的理论模型，包括......
为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外、无法在静电高危区域使用、无法测量运动人体带电情况等问题,本论文研制......
黏度作为流体特性的基本问题，在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据，为满......
为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外、无法在静电高危区域使用、无法测量运动人体带电情况等问题,本论文研制......
PZT(Pb(ZrTi)O)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT......
利用PbNiNb-PbZrO-PbTiO三元系压电陶瓷设计制作了双悬臂梁结构的微夹持器,用于微装配系统的操作手.对压电陶瓷材料的性能和压电微......
介绍了多孔硅的形成机理和用电化学腐蚀制备多孔硅的几种方法.由于多孔硅的多孔特性,气体可以很容易扩散进去,减少了硅的氧化时间.......
介绍了使用控制开关的应用背景、基本功能要求,建立了MEMS使用控制开关的结构模型、分析了基本功能单元的工作原理.作者还结合文献......
无线通信技术，特别是第三代通信系统和蓝牙技术的迅速发展，主流的通信频段日益拥挤，工作在射频波段的通信器件，尤其是滤波器件越来越受......
低功耗一氧化碳传感器是煤炭安全开采的重要保障和分布式无线传感技术的关键基础。阐述了低功耗一氧化碳传感器的工作原理,重点介......
针对分布式无线甲烷传感器需功耗低、微型化、响应时间短、可靠性高、安全性好的要求,介绍了基于微机械电子系统技术和纳米材料的......
基于微机械电子系统(MEMS)技术和硅材料的压阻效应,研制了一种具有对称梁膜结构的硅微加速度传感器.结合四甲基氢氧化铵(TMAH)各向......
微机械电子系统将机械结构和半导体电路封装在一起，这样，可在降低成本的同时提高控制系统的可靠性。工业控制中的许多重要变化，是因为......
微机械电子系统(MEMS)是当今技术领域的热点之一，目前已广泛应用于军事民工等众多领域。MEMS构件在工作中经常承受往复载荷的作用，这......
为了提高灵敏度和消除交叉轴串扰,提出了一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器, 分析了该结构差分检测和消除交......
提出一种基于昆虫风速接受器的微谐振式仿生传感器,用以测量低速气体流动．由于设计的复杂性,使用有限元模拟对其进行评估．基于有限元......
为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到......
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度......
在微流控芯片中，微机械往复无阀泵作为微流体驱动单元具有良好的试样适用性与应用前景，但其性能受到工作机理、结构等因素的制约。本......
对无线多传感器网络中红外热释电传感器模块进行微小型化设计，一方面利用实际的工艺进行整个传感器的电路板设计，另一方面提出利用微......
微机械电子系统(MEMS)与光纤传感技术的结合给声传感器的设计和研制带来了全新的发展方向——MEMS光纤声传感器。与传统传声器相比......
本文论述了标准LIGA技术的工艺过程，对重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了近年发展起来的准LIGA工艺技术，同时重点研究了利......
对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟．以设计的一种微机械陀螺为模型，对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计......
主要研究静电激励／电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题，推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型，分析谐振梁的同频干扰问题，建立其等效电......
采用静电力驱动质量块产生等效加速度信号实现了微机械加速度计的自检测功能。分析了平板驱动电极的静电驱动力、吸合电压以及稳定......
为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到......
