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为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度，提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理，推导该结构的理论模型，得到这种微杆杠放大......
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为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积，本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计。采用一级微杠杆机构对质量......
