微加热器相关论文
微加热器是传感器中至关重要的组成部分,为传感元件提供合适的工作温度、保护传感电路以及提高传感灵敏度。随着柔性电子设备的发......
利用有限元分析工具ANSYS,对我们所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟和分析.在分析中,利用实体建模的方法建立了传感......
二氧化钒是一种具有特殊相变性能的功能材料.随着温度的变化,二氧化钒会发生从半导体态到金属态的可逆变化,同时,电阻率和光谱透射......
对于热催化、金属氧化物半导体、甚至红外等气体传感器而言,微加热器是一个关键元件。用于热催化、金属氧化物半导体及红外气体传......
碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一......
随着MEMS技术的快速发展,基于MEMS技术的微型加热器的应用日趋广泛,因此对微加热器的研究显得越来越重要。本文设计了一款基于MEMS......
为深入研究微电子原件表面沸腾换热中存在的问题,对脉冲加热条件下影响气泡动力学的因素进行了研究。以不同主流流速下微加热器表......
文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁......
提出一种基于感应加热原理的微型加热器,设计了针对微流体的微加热器的结构和关键参数,该结构的微加热器,具有加工难度低,便于密封等优......
为了降低微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的功耗,设计了一种嵌入硅基内部的微加热器.该加热器由采用离子注入技术制作的加热电阻并行......
微喷头广泛应用于喷墨打印机和微泵等产品中,是较早实现产业化的MEMS器件之一。本文探索和研究了将感应加热技术应用于微喷器件所体......
基于微机电系统(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems)技术的微型加热器在气体传感器、微热量计、气体流量计、红外光源、微小......
微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)具有尺寸小、集成度高、耗能小、可大规模生产、工艺多样化、精度高等优点,因......
为保障煤矿的安全生产和井下人员的生命安全,开发可随身携带的瓦斯传感器对瓦斯进行实时检测十分必要。MEMS(Micro-Electro-Mechanic......
介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由......
以Al2O3-H2O纳米流体中的微加热器为研究对象,通过实验方法对脉冲加热条件下微加热器的温度响应曲线和气泡动力学行为进行了详细的......
设计了500×500个微加热器阵列,加热线条宽度分别为5μm,7μm,9μm.采用离子束溅射、光刻、湿法腐蚀等工艺,在Si衬底上制作了......
利用金属铂良好的热敏、热阻特性,以及Si O2良好的绝热、绝缘性能,设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气......
利用微机电系统(MEMS)加工技术,在梯形微通道内集成特定形状(60μm×100μm)的Pt微加热器,通过改变脉冲加热电压及水的流速,采用高速......
本文总结了气体传感器中微加热器的材料、结构及热特性,列举了常见的几种微加热器,对Pt加热器和多晶Si加热器进行比较,并在此基础上简要介......
利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,在单晶硅衬底上,设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构。这种共平面型电极结构消除了加热器......
利用硅基MEMS工艺,通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀〈100〉晶向硅片,结合SiO2薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、光刻工艺、lift-......
设计了在128°旋转Y切割X传播方向LiNbO3基片上研制了数字微流体微加热器。它由压电基片上两个叉指换能器构成,当由功率放大器......
利用近红外光在微纳光纤传输时产生的强烈倏逝场效应将氧化石墨烯沉积在微纳光纤表面,组装成具有优异光热转换性能的氧化石墨烯一微......
热气泡式微流体驱动器是微驱动的一个研究分支,是微流控器件的重要组成部分. 热气泡式微流体驱动器没有机械可动部件和机械变形,结......
为了研究微加热膜下方的结构与微加热器性能的关系,利用数值计算与有限元仿真,研究了微加热膜下方空气隙厚度的变化对加热器性能的影......
提出了一种用于热微喷头的感应加热器新结构。进行了相关的结构和工艺设计,在MEMS工艺环境下制作出了可以非接触加热,工艺结构简单,使......
设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验。微加......
为深入探讨微加热器表面产生周期性气泡的普遍规律,需要对微加热器的温度响应和分布进行研究.对微加热器和周围液体工质进行了无量纲......
采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模......
设计并采用MEMS工艺制造了一种特征尺寸10μm并能产生单一稳定微米气泡的Pt薄膜加热摄像头和MATLAB程序定量研究了在乙醇、除气水......
随着厚膜传感器不断向着微型化、集成化、非标准化方向的发展,厚膜传感器制造业迫切需要发展一种能在无掩膜的条件下,快速制备出小尺......
生物芯片是近年随着微加工技术与生物技术的结合发展起来的一个新颖的跨学科领域。PCR生物芯片由于具有功耗小、成本低、操作简单......
针对热机械式微纳米结构的加工,提出了一种以掺Al多晶硅为材料,集成于微悬臂梁上的加热器。采用Al诱导退火晶化(AIC)方法,在750 K......
在本论文中,我们实现了飞秒激光诱导金属沉积在非平面衬底上实现柔性金属布线。激光光束可在聚焦位置通过双光子吸收精确地诱导金......
学位
由微加热器和微热敏传感器组成的微型温度控制器具有尺寸小、精度高、功耗低、升温快等优点,可以广泛应用在需要温度控制的诸多领......
对PCR扩增芯片中微加热器的传热及微腔(DNA反应液腔)室的高度优化问题进行了有限元分析,通过ANSYS软件模拟分析了单蛇形、双蛇形以及......
针对PCR扩增芯片中微加热器的传热问题进行有限元分析,用计算机模拟了不同形状微加热器的温度分布,通过对比分析,得出了提高温度分......
氧化石墨烯具有良好的光热转换效率,能在微纳米尺度的区域内形成热梯度场.利用氧化石墨烯沉积在微纳米光纤表面可组成微加热器,输......
针对矿山物联网发展对甲烷传感器低功耗、微型化、低成本的设计要求,对一种基于微纳米技术的载体催化燃烧式甲烷传感器展开研究,着重......