微结构气体传感器的加热器设计与模拟

来源 :测控技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：michael_lv

【摘要】

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利用有限元分析工具ANSYS,对所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟.运用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模型,采用8节点等参数热单元solid70进行了分析

【作者】

：

张彤杨广立李春明徐宝琨

【机构】

：

吉林大学,吉林大学

【出处】

：

测控技术

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

硅基气体传感器微加热器有限元分析温度分布

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利用有限元分析工具ANSYS,对所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟.运用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模型,采用8节点等参数热单元solid70进行了分析.根据器件工作时需要的加热功率,设计了这种硅基气体传感器衬底微加热器的尺寸,确立了对流和环境温度等边界条件,从而达到气体传感器衬底的温度场分布均匀的要求.

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