微气体传感器相关论文
本文基于MEMS工艺所设计的气体传感器,克服了以往同类传感器响应时间长,读取数据量小,功耗大等缺点。由于温度作为气体传感器的一......
基于"相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同"这一原理,搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台。利用该平台对汉威......
利用金属铂良好的热敏、热阻特性,以及Si O2良好的绝热、绝缘性能,设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气......
MOS 材料需要一定的温度才能与气体发生反应,导致传感器功耗过高,制约了传感器的进一步发展。与传统的气体传感器相比,基于MEMS 技......
设计了一种新型Zn O微气体传感器的结构,利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析,并对传感器的基底三层材料的厚度、......
针对传统堆积式硅基微气体传感器制造工艺复杂的缺点,设计一种将Pt电极制成一层的共面式微气体传感器,利用有限元软件ANSYS对传感......
微热板式气体传感器具有尺寸小、功耗低、易集成等优点,成为MEMS领域的一个重要研究成果。可惜的是目前其选择性差、稳定性差的缺......
设计了一种微气体传感器微热板的电极结构,利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化,研究了微热板......
设计了一种新型微气体传感器的结构,并利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的基底和电极进行了分析与优化。结果得出：传感器的基底设......
测试了一组微热板式气体传感器的稳定性,着重讨论了稳定性的几种描述方法,采用统计学方法对文献中常用于描述稳定性的几种特征参数......
