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对无线多传感器网络中红外热释电传感器模块进行微小型化设计,一方面利用实际的工艺进行整个传感器的电路板设计,另一方面提出利用微机械电子系统制造(MEMS技术)进行整个模块的微型化设计是整个课题的构思设想。 根据课题的背景,详细的分析所要探测的红外辐射信号的特点,介绍了两种不同的红外探测器原理模型,根据这两种模型由各种光电效应和光热效应制成的不同红外探测器及其性能参数,并且详述了各种不同红外探测器的优缺点,根据各种红外传感器的优缺点和实际应用环境的需要,本课题选择了红外热释电传感器作为无线多传感器网络中红外探测部分。 在对红外热释电传感器的原理进行分析后,将红外热释电传感器划分为三个部分分别进行小型化的研究与设计,然后利用集成工艺对三个部分进行二次集成化设计。由于现有工艺的限制,因此本课题在实际设计中主要对电路部分进行集成设计。然后将调制部分菲涅尔透镜、热释电探头SD02集成在电路板的方法。 最后在提出利用微机械电子设计工艺对整个系统进行前瞻性研究与设计,并根据现有实际设计出来的产品对整个红外热释电传感器的尺寸大小。