SU-8胶相关论文
SU-8胶是一种能够以低成本制作高深宽比微结构的负性光刻胶,在非硅MEMS领域有广泛的应用。其中光刻成型的SU-8胶直接作为微结构材......
介绍了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程，分析了制备的技术关键，试验优选了关键制备环节的工艺参数。试验结果表明：......
利用聚合物SU-8光刻胶在激光作用下折射率会发生变化的特点,将其作为最后的光学材料,采用光刻胶热熔法和图形转移法,设计并制作了......
采用SU-8光刻胶为前驱体,控制转速在硅基上均匀旋涂SU-8胶薄膜,采用不同碳化温度制得微型微机电系统(MEMS)超级电容器多孔碳电极材......
当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响.而随着器件性能的提高,......
采用SU-8胶的UV光刻技术是制造MEMS的重要微细加工技术之一。SU-8胶克服了普通光刻胶深宽比不足的问题,同时也克服了LIGA技术中X射......
SU-8胶是一种能够以低成本制作高深宽比微结构的负性光刻胶,在非硅微电子机械系统(MEMS)领域具有广阔的应用前景.针对SU-8胶作为微......
随着MEMS(微电子机械系统)技术的迅速发展,基于SU-8胶的UV-HGA技术得到了广泛的应用。SU-8厚光刻胶已经成功地应用于高深宽比微结......
随着对微纳米领域科学研究的不断深入，获取微纳米尺度下物体的力学信息已经成为了研究的热点问题。微力传感器作为MEMS领域中一种重......
研究工作的主要内容分以下几部分:(1)基于SU-8胶的UV-LIGA技术研究:◆SU-8胶的光刻技术研究 该文从SU-8胶与基底的浸润性、基底表......
生化微系统是MEMS的重要方向之一，而生化样品的微量取样和计量是生化分析过程的重要环节，微针执行器的研究因此受到关注。本文总结了......
本文从UQS的基本原理出发，利用贝努利概率模型、相关性原理等数学工具，对UQS码的0阶相关、一阶相关、二阶相关性，在全部定义域内进行......
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响.结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间......
微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率。研究了UV-LIGA制作......
本文根据菲涅尔衍射的原理，在考虑了折射、光刻胶对光的吸收以及硅片对光的反射的情况下，给出了SU-8胶在365nm光源下经过方孔曝光时，......
对SU-8胶微结构的尺寸及其公差进行了定量研究．在考虑了SU-8的吸收系数和折射系数对紫外光刻尺寸精度影响的基础上，根据菲涅耳衍射理......
背面夹缝曝光是利用光学衍射效应来制备三维微结构的新方法．采用Matlab对曝光时间和夹缝对三维SU8结构形貌的影响进行了模拟，并开展......
SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究，在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上，利用AN-SYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析。通......
采用二维法向量作为分量,加权求和近似得到三维网格点上的单位法向量,将经典的二维线算法改进为三维形式。综合SU-8胶光刻过程中衍......
以薄膜内应力为指标，对SU-8负性光刻胶的工艺参数进行了优化．根据基片曲率法的原理，通过三因素三水平的正交实验，测量了9组不同工艺条......
SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构。为电铸造出金属微结构，通常需要采用金属......
利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450 μm.制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一......
准LIGA加工工艺通常、能加工单层准三维体.本研究采用SU-8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三......
通过对SU 8胶近紫外波段下透射光谱的分析,得到不同波长近紫外光在SU 8胶中的穿透深度,并分析了不同波段近紫外光对SU 8胶微结构的......
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响.结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间......
文章采用牺牲层刻蚀技术加工SU-8胶MEMS微结构,BP212正性光刻胶作为牺牲层,SU-8胶作为结构层。制造出的SU-8胶微结构完整,表面无裂......
研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的......
为解决SU-8胶微电热驱动器在工作过程中存在平面外运动的问题,提出了一种具有铜-SU-8胶-铜三层对称结构的新型SU-8胶V形微电热驱动......
基于SU-8胶的UV-LIGA技术是MEMS中制备高深宽比结构的一种重要方法,但由于衍射效应会使结构的侧壁不再垂直，根据菲涅耳衍射模型,考......
以SU-8胶为微电铸母模制作镍模具时,胶模的热溶胀性使胶模变形,导致铸层线宽缩小,这是影响微电铸铸层尺寸精度的主要因素。针对密......
SU－8胶是一种基于环氧SU－8树脂的环氧型的、近紫外光、负光刻胶。其专门用于在非常厚的底层上需要高深宽比的应用。但是SU－8胶对工艺......
为解决金属微结构电铸制造用SU-8胶受热易溶胀的难题,在剖析热溶胀机理的基础上开展了实验研究,结合实验结果针对性提出尺寸补偿法......
设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注......
试验研究了UV-LIGA各工艺环节（包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等）对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响，并组合优化了操作......
综合了SU-8胶光刻过程中衍射、反射、折射、吸收率随光刻胶深度的变化及交联显影等各种效应,考虑了折射及吸收系数随时间的变化,建......
为了使用微流体细胞仪对细胞精确计数,采用紫外光刻工艺制作了能够真正实现三维聚焦功能的微流体检测芯片(微流控芯片)。使用聚二......
突破了传统深宽比概念，提出金属基底上基于图形特征的光刻胶显影技术，对采用SU-8胶加工高分辨率和高深宽比微结构的显影工艺进行了讨......
基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭......
对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究，给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程，分析了制备的技术关......
由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成......
考虑获知SU-8胶的光弹性性能有利于拓展其在微纳米领域中的应用范围,本文设计了材料应力光学系数显微测量光路,完成了SU-8胶应力光......
微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点，利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率。研究了UV—LIGA制作......
SU - 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构。为电铸出金属微结构 ,通常需要采用金......
SU - 8胶是一种基于环氧SU - 8树脂的环氧型的、近紫外光、负光刻胶。其专门用于在非常厚的底层上需要高深宽比的应用。但是SU - 8......
SU 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制超厚、高深宽比的MEMS微结构。SU 8胶在近紫外光范围内光吸收度低 ,故整......
