UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：woshi52031

【摘要】

：

基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的

【作者】

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张晔陈迪张金娅朱军刘景全

【机构】

：

上海交通大学

【出处】

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中国机械工程

【发表日期】

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2005年z1期

【关键词】

：

UV-LIGA技术 SU-8胶高深宽比微结构倒角

【基金项目】

：

国家863高技术研究发展计划资助资助项目(2004AA404260)

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基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法.

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