微力传感器相关论文
在现行教材中测量安培力大小的实验大多停留在定性描述阶段,大多不精确或不够严谨。通过滑动变阻器改变电流,以抽离磁铁的方式控制导......
微纳尺度材料力学性能测试技术是微纳米材料的重要研究方向之一。目前对力传感器灵敏度及测试精度的要求越来越高,需要有不断的突......
离子交换聚合体金属合成物(Ion-exchange Polymer-Metal Composites简称IPMC)是一类离子型电致形变智能材料(EAP),其性能类似于生物肌......
利用大学物理实验常用设备(如激光器、直流电源、电流表等)将指针式电流表改装成瓦特秤,用作微力传感器,该装置不需要定标.利用瓦......
本文设计了一种新颖的微力感知传感器及其标定方法,以获得亚μN(micro Newton)的可靠的、高精度力反馈信息.可靠的、高精度的微力......
为了完成一种新颖的亚μN(micro Newton)微力传感器的开发,使其具有可靠的、高精度的微力反馈信息.本文设计出相应的信号处理方法......
在微纳米操纵中,微载荷的获得非常困难。本文在现有的微载荷探测技术基础上,设计了一个悬臂梁微力传感器。它能感应微牛量级的载荷,灵......
基于光纤Bragg光栅轴向压力作用模型提出一种微力传感器.根据光纤不同的直径和弹性模量可获得不同测力范围和灵敏度的微力传感器.......
微机电系统(MEMS)作为21世纪的前沿技术,正快速发展成为一个新兴的研究领域。作为MEMS发展过程中一项必不可缺的关键技术,微装配技术......
科学技术的蓬勃发展极大提高了社会的生产力,在这个信息化的时代,科技带来的影响力无处不在,随着工业自动化水平的快速提高,人们对......
离子交换聚合体金属合成物(Ion-exchange Polymer-Metal Composites简称IPMC)是一种电致形变智能材料,它具有质轻、柔韧性好,可切......
本文围绕显微外科手术机器人手指系统的研究与开发这个专题,对带力感觉手指系统的结构设计、无力感觉手指系统的结构设计、微力传感......
本文在全面分析国内外微力传感器研究状况的基础上,针对MEMS微装配对微力传感器的要求,设计了基于PVDF压电薄膜的一维和三维微力......
MEMS技术的发展为基于压电薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器的研究带来了巨大的机遇。压电式微力传感器具有低能耗、高灵敏......
随着对微纳米领域科学研究的不断深入,获取微纳米尺度下物体的力学信息已经成为了研究的热点问题。微力传感器作为MEMS领域中一种重......
随着科学技术的不断发展,人们对微观领域的研究也变得越来越深入,在21世纪末,微机电系统(Micro electromechanical system)得到了迅猛发......
微力传感器研究、制作、生产蓬勃开展,而微力传感器本身的性能计量却显得相对滞后。因此,构建一种稳定、精密的超微力计量体系成为......
在人们生活水平快速提高的当代,淋浴在日常生活中的作用越来越重要。在淋浴过程中,淋浴的舒适程度直接取决于喷射冲击力场作用在人体......
基于测量范德华力制成的原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM),现在已经广泛应用于化学、物理、表面科学等微观领域。压电式......
论述了以X-1280Y LiNbO3(铌酸锂)作为基底材料的声表面波力传感器的输入换能器和输出换能器的设计,并对其性能进行测试分析。其中......
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).以谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此......
在利用金属丝阵Z箍缩产生强X射线辐射的方法中,为获得超强X射线,一般采用直径几μm的钨丝构成单、双或多层圆柱面状丝阵负载,其中......
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).其原理是利用谐振频率为1 MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样......
非晶合金具有高强度、高弹性极限等优异的力学性质以及独特的可热塑性成形特性。基于设计的双悬臂探针,制备了一种非晶合金微力传......
为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-......
棉条检测传感器是一种高精度、高灵敏的硅微力传感器,主要应用于纺织机械中并条机、梳棉机动性等前纺设备的棉条在线检测以及纺织质......
为了测量毫克级的微小力,设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备......
设计了一种L型的二维微力传感器,该二维微力传感器采用悬臂梁式结构。在弹性力学和材料力学基础上,利用Solidworks三维建模软件和A......
提出一种沿长度方向突变的变截面直梁压电振子结构,该振子能保证输送工作台面上各质点振幅均匀一致。由于振子具有结构对称性,可在......
1.项目简介随着微纳米技术和生物医学技术的发展,微生物体、细胞、分子簇等领域对微纳牛力的测量已经成为关键的技术难题。为了实现......
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM)。其原理是利用谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传器逼近样品表面,在此过......
本文采用双晶片探头和电子天平对PZT微力传感器进行静态力标定,进而利用双晶片探头和电荷放大器对PZT微力传感器进行准静态标定,微......
描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜(EFM).利用谐振频率为32.768 kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器,它在逼近......
在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜.......
开发了一种基于MEMS技术制作的三维微力传感器,传感器为完全对称结构,由4根垂直放置和1根悬臂放置的硅梁连接而成。每根硅梁上设计了......
以压电智能材料聚偏氟乙烯(PVDF)作感知和离子交换膜金属聚合物(IPMC)作驱动的悬臂梁为研究对象,建立了智能悬臂梁的压电传感和致动方......
压电式传感器和执行器具有结构简单、响应速度快、高频适用性强、驱动和处理电路简单等特点,在超声检测、精密位移和定位、声学及......
为满足三维微力测量的需求,以MEMS体硅压阻工艺技术为基础,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻......
在利用金属丝阵Z箍缩产生强X射线辐射的方法中,为获得超强X射线,一般采用直径几/xm的钨丝构成单、双或多层圆柱面状丝阵负载,其中丝阵......
提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征......
由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成......
压电式传感器和执行器具有结构简单、响应速度快、高频适用性强、驱动和处理电路简单等特点,在精密位移,精密定位、声学及力学量的检......
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM)。以谐振频率为1MHZ的未封装伸管型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振......
随着科学技术的发展,淋浴喷头功能性逐渐增性。喷射水流对人体的冲击力是评价多功能淋浴喷头性能的主要参数,也是衡量淋浴喷头洗浴......
微构件表面的摩擦状况和磨损机理与宏观构件有较大的区别,需一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器.给出了一种新型硅微力传......
设计了一种新型微力传感器,利用电阻式应变原理,采用柱式结构,量程小,灵敏度高,灵敏度可达0.0575V/N,适用于微力测量。对其弹性元......
MEMS技术的发展为基于压电PZT薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器研究带来了新的机遇。压电式微力传感器的低能耗、高灵敏度......
压电式微力传感器的低能耗、高灵敏度、易于与压电微执行器集成等优点使其具有良好的应用前景。但是与目前较为成熟的压阻式微力传......