激光微细加工相关论文
可降解甲基丙烯酰胺改性明胶(Gel-MA)具有良好的生物兼容性和可降解性,被广泛应用于生物支架、药物输送载体和软骨替代物等方面,在生物......
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制......
特殊wettibilities包括疏水性和可调谐的粘合力,由于其基础理论研究和实际应用的重大潜力已经引起了相当的关注。本文总结了近......
激光微细加工技术可以对蓝宝石,碳化硅,陶瓷和玻璃等光学元件和半导体衬底的脆性材料,碳钢以及容易产生塑性流动的低硬度复合材料......
利用激光微细加工系统对铜板进行了刻槽,并用激光共聚焦显微镜对凹槽的宽度、深度和三维形貌进行了观察及表征,从激光功率、扫描速......
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元.首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制......
本文介绍了激光微细加工技术的特点,与其他微细加工技术相比,激光微细具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率......
本文通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路.......
该文介绍了作者研制的准分子激光微细加工系统。通过选用成象光学系统改进了传统的消融、刻蚀方案;具有能量效率高,单脉冲加工面积大......
在半导体激光诱导扩散实验中,用连续波CO2 10.6μm激光聚焦后照射基片表面.为实现局部区域的选择扩散,激光光斑半径仅数十微米.要......
在未来社会中,微型机械将发挥越来越重要的作用,微构件的微细加工已成为热点研究的课题。由于激光加工技术有着能量高度集中,可控......
相对于常规机械加工而言,微细加工工件的几何尺寸更小、精度要求更高,表面微观形貌对于产品的表面质量、工作性能和使用寿命的影响更......
AlSiC复合材料具有高的比强度、比模量、耐高温、耐磨损、可调的导热系数等优点,在航空航天、汽车、电子、军工等领域有重要应用,......
随着激光微细加工技术在微构件制造方面应用越来越广泛,目前研究者研究主要集中在改进加工工艺参数,实现具体工艺要求的孔,表面的......
激光微细加工技术是利用激光束作用于工件表面的激光辐射效应,改变工件形状,或材料性能的一种特种加工技术,属于非接触加工,具有表......
该研究论文主要对微电子机械系统的制作工艺-激光LIGA工艺(LIGA工艺技术源自德国,名词LIGA是德文光刻、电铸、模铸的打头字母的组......
准分子激光微细加工技术以其较高的精度,较低成本及较快加工速度在微机械加工领域受到了极大的重视.它利用准分子激光波长短、光子......
在半导体的激光微细加工技术里 ,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数 ,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的......
在激光诱导扩散等激光微细加工技术中 ,需要用聚焦激光束照射基片表面 ,以形成局部高温区。为使局部高温区的温度分布满足实验要求......
用连续波激光诱导扩散制作单片集成光接收机中的探测器时,激光照射形成的高温区面积很小.当入射激光焦斑光强为高斯分布甚至平顶帽......
在自行研制的激光微加工系统中,激光光源固定,待加工工件置于X-Y移动平台上,驱动平台运动带动工件运动,利用光束与工件的相对运动......
在电子工业和半导体工业中,为了快速生产出更小的元件,制造商们正极力促进将紫外波长激光器引入到微细加工中.传统的方法是用紫外......
蜂窝电话、计算机、扩展器、小卫星、灵敏像元卡、ID标记,这些无一不包含有微型组件.预计在今后几年中,消费者将花费数10亿美元购......
由Marubun公司开发的激光微细加工用高精度级联系统是以激光控制技术和激光加工技术为核心,并结合了数家合作企业的技术,使得激光加......
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制......
对脉冲激光微细加工中半导体的反射率与材料物理特性及激光产生的电子-空穴等离子体的关系进行了理论与实验研究,给出了分析受辐照样......
在自行研制的激光微加工系统中,激光光源固定,待加工工件置于X-Y移动平台上,驱动平台运动带动工件运动,利用光束与工件的相对运动......
采用聚焦连续波CO2激光束对n型InP基片进行局域加热,并利用专用的温度测量系统对InP基片曝光区的温度分布及温度随时间的变化进行了......
激光微细加工是微小型构件的重要加工方法。目前,研究工作主要集中在先进超快脉冲激光器以及高端激光制造装备方面,对加工表面质量......
随着社会的发展微型机械将发挥越来越重要的作用,而微构件的微细加工则已经成为了热点研究课题。由于激光加工技术有着能量高度集......
介绍了激光板与管无模成形、激光表面强化处理、激光微细加工和激光直接沉积成形等四种激光制造前沿研究技术.阐述了基本作用原理......
本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。...
采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p-区......
在半导体的激光微细加工技术里,需要对微小曝光区域的温度分布进行不接触测量.文献[6]报道的温度测量系统基本满足这一要求,但在实......
单片光电集成器件(OEICs)是利用光电子技术和微电子技术将光电子器件和微电子器件集成到同一衬底而形成的新型器件,可完成光发射、......
为了探索低成本、大深宽比加工方法,建立了实用的准分子激光微加工系统.以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波......
准分子激光微细加工已成为一种成熟的加工技术,在工业中有着广泛的应用,如喷墨打印机喷嘴的钻孔、传感器的生产和显示板的加工等.......
文章综述了当前MEMS各类微制造技术,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激......
传统分离脆性材料的技术由于易产生残余应力、显微裂纹与边部碎屑等缺陷,越来越不能满足半导体工业高精度与高清洁度的要求。激光......
进行了飞秒激光烧蚀不锈钢(SUS420)的工艺实验研究.采用波长为780nim,脉宽为164fs,频率为1kHz的飞秒激光照射不锈钢.对比分析了长短......
为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成......
近年来,随着激光微细加工技术的完善以及加工工艺的成熟,激光微细加工的种类日益丰富,已经广泛应用到各种制造工业领域当中。在这......
本文应用准分子激光器进行微结构加工,用拉曼光谱、红外谱、AFM和三维形貌分析仪等测试手段分析准分子激光刻蚀聚合物微通道的加工......
激光诱导液相腐蚀是利用激光在单色性、方向性、高亮度上的独特优势,以激光对材料的光子效应和热效应为基础,辅助材料的液相腐蚀进......