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在自行研制的激光微加工系统中,激光光源固定,待加工工件置于X-Y移动平台上,驱动平台运动带动工件运动,利用光束与工件的相对运动......
近些年，微加工的发展趋势越来越引起人们的关注。微加工工艺一般均采用激光加工技术，如微切削、微刻蚀、微钻削、微观构造等。就激光......
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