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期刊论文
特种微细加工的现状及应用
特种微细加工的现状及应用
来源 :机电一体化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:svennis
【摘 要】
:
本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。
【作 者】
:
荣烈润
【机 构】
:
上海市静安区业余大学
【出 处】
:
机电一体化
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
特种微细加工
电火花微细加工
离子束微细加工
激光微细加工
超声微细加工
special microfabrication electrical dischar
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本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。
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