气浮导轨相关论文
静压气浮导轨采用气体润滑,具有无摩擦、热变形小、寿命长等优点,且气膜的误差均化作用显著提高了其运动精度,满足三坐标测量机高......
近年来,光学自由曲面在很多领域得到广泛的应用,但由于其拥有着复杂的非回转对称结构,加工难度大。随着超精密加工技术的发展,基于......
为获取大行程精密钢带夹轮传动系统的传动特性,以一维精密气浮导轨为载体,钢带夹轮传动机构作为传动装置,采用三环PID控制算法,设......
在目前永磁同步直线电机推力波动性能测试试验台的研究中,存在着导轨和加载形式单一的问题,因此设计了一种将无杠气缸作为加载形式......
目前国内测长仪器的测量精度达到0.1μm级,但是由于各地方检测单位、使用单位对仪器使用环境千差万别,因此无法保证高精度仪器测量......
光栅尺的动态精度受到安装误差、温度、振动等环境因素影响,目前光栅尺常采用的静态检测方法并不能满足光栅尺动态运行要求。另外,......
三坐标测量机作为一种大型精密测量仪器,已广泛应用于现代制造业。随着生产的发展,对三坐标测量机的测量效率及精度要求更高,而随......
高精密量测机台在量测过程中,温度波动和支撑地板震动均会影响量测精度。选用合适的量测设备、工件台材料以减弱温度波动的影响,选......
尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体......
气体静压轴承广泛应用于高精度设备，精密检测装置等领域，一般分为圆柱气体轴承、平面上推气体轴砂及球面气体轴承三类。平面止推气体......
三坐标测量机越来越广泛的应用于实际测量,因此受到很多学者专家的关注和研究。随着生产的发展,对这种大型的精密仪器的测量效率和......
为满足新一代芯片封装设备对定位运动平台高加速高精度的性能要求，本文采用了概念设计、详细设计、理论分析和仿真模拟等方法，设计了......
现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的测量速度和精度要求。测量机测量速度的提高引起测量加速度与结构惯性力增大,振动加......
随着科学技术的迅猛发展,具有复杂微结构的光学表面越来越广泛地被应用到航天、通讯、医学和军事等一系列科学领域中。这类光学表......
光刻机是集成电路产业的基础设备,光刻机的线宽决定着集成电路的特征尺寸。光刻机研制水平的提高能够带动整个集成电路产业界的技......
静压气浮导轨具有摩擦小、发热量小、寿命长、精密度高、无污染、无辐射等优点,直线电机驱动具有无接触、速度快、精度高、噪声低......
计量长光栅是一种高精度的线位移传感器，在各类精密机械和仪器上应用非常广泛。目前针对计量长光栅误差的静态检测技术比较成熟，但对......
气浮导轨是借助有一定压力的空气使工作台悬浮,并且不与导轨表面接触的一种导轨形式,工作时的摩擦力几乎为零.本文设计了一种能实......
通过步进电机驱动、同步齿形带的传递,气浮导轨的设计、主轴夹紧机构的改造,提高了仪表车床的刚性,保证了产品的加工精度.通过PLC......
提出了一种超声波微驱动摩擦改性的思想。通过激励超声波马达振子的两个对称的夹心式换能器前端头作旋转方向相反的椭网运动，使摩擦......
提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光......
利用双频激光测长原理,在建立50 m超长气浮导轨的基础上,提出了由地基、导轨、测距主标准器及工装配套等模块组成的一维大尺寸精密......
为研究空间对接机构在对接过程中的碰撞现象,研制了碰撞试验系统.探讨了试验系统方案;依据Hertz弹性接触理论,仿真计算了加速度频......
对长线阵CCD拼接仪的整体设计作了分析,采用精密滚珠丝杠驱动工作台,花岗岩作基座,大理石作台面和气浮导轨承载,保证运动精度和延......
由北京机床所精密机电有限公司承担的国家863计划《超精密球面加工设备的研制》项目，2005年1月通过了由中国机械工业联合会组织的专......
本文概述了坐标测量机中的空气静压轴承球头支承是影响空气静压轴承与气浮导轨具有恒定气浮间隙的重要因素,同时对于保证测量机动......
本文主要研究了一种用于长行程，高运动精度要求的间隙补偿式闭式气浮导轨。在此气浮导轨中采用了气足的为气浮导舅的基本单元，其中两......
就压缩空气对气浮式坐标测量机的影响进行了总结分析，并提出相应的解决方案，对提高坐标测量机的可靠性，降低故障率，延长使用寿命具有积......
在科技高速发展的今天，高速高精密技术已成为装备制造业的一个发展方向，静压气浮导轨以高精度、无摩擦、温升小、寿命长等优点满足高......
提出了用于坐标测量机（CMM）加速度误差补偿的气浮导轨的刚度和阻尼的估计方法。利用CMM框架模型建立振动方程，并转化为包含刚度和阻尼......
针对立柱导轨的结构形式，分析了气体阻塞条件，给出了气体压力分布示意图，根据导轨尺寸计算出了其承载力和刚度，经实践证明满足了仪器的......
设计了一种可拆卸式整体气浮导轨组件结构,该气浮导轨滑架采用框架组合结构,可更换多种型号及不同数量的气浮轴承,实现对称和非对......
为了优化局部多孔质气浮导轨的设计参数，建立了包含多孔质流量特性的气浮导轨气膜压力特性数学模型，提出了一种基于非支配排序遗传算......
在用超精密机床加工V沟槽等微结构时，气浮导轨是保证超精密加工精度和表面光洁度的关键部件之一。介绍气浮导轨结构及润滑方式的选......
用解析法探讨了导轨误差均化作用对确定导轨滑套长度，静导轨直线精度及其长度的影响所得结果可使导轨参数的选择更趋合理。......
针对目前长光栅动态特性试验缺乏必要手段的问题,采用比对测量原理,以激光干涉仪为基准,提出了一种长光栅动态特性检测和可靠性试......
为提高引线键合机定位机构的运动速度和定位精度，提出了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台．该平台采用了新型的气浮解......
“AE05型”高精度纳米电火花加工机在加工机的导轨内采用了陶瓷制作的高刚度气浮导轨，实现了优越的直线度。......
为了获得气浮导轨设计的更为准确的结果，需要在设计计算中将导轨所受的正压力和倾覆力矩同时考虑进去，为此将有限单元体上的分布力简......
空间折叠薄膜管是空间充气展开结构的基本支撑部件,Z形折叠是充气展开管的基本折叠方式之一.针对空间微重力环境,建立了折叠薄膜管......
针对测量机的气浮导轨结构、结构材料性能及标尺系统特性,阐述所用压缩空气品质对测量机机体的影响.提出如何提供合格的压缩空气的......
为了高精度高效率地测量数学模型未知的复杂几何形状，介绍了“免形状测量模式”，分析了该测量模式对仪器的基本要求，基于该模式设计了......
针对在太阳翼展开过程中,气浮吊挂滑车偏向横导轨单边导致气浮垫脱落甚至横导轨卡死等问题,对气浮导轨的防脱气浮塔应力和变形进行......
在超精密加工制造等领域,为了满足大质量工件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷应用情况下的纳米级精密定位平台。......
在超精密光学工程等领域,为了满足大质量部件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷的纳米定位平台。该纳米微动承载台......
在超精密加工与检测技术中，高精度长导轨直线度误差的测量与补偿技术一直是一个研究重点。在系统研究现有各种导轨直线度误差测量方......
