双面抛光相关论文
采用严格耦合波分析方法研究了长波红外波段锗基底的圆柱形周期阵列仿生蛾眼抗反射微结构的衍射特性,并进行理论分析和模拟仿真验......
随着石英晶体元器件产业的快速发展,对石英晶片的加工质量、效率提出了更高要求。如何方便、高效地获得超平滑、无损伤的表面质量,......
行星式双面抛光运动过程中的材料去除量均匀性对光学材料的表面加工质量有重要影响。通过分析工件双面抛光的运动过程,建立了工件......
目前在光学冷加工市场有一定量的单面抛光板材的需求量,由于这种零件大多在要求只有一个面抛光的同时,对抛光面的面型有较高的要求......
以碳化硅(SiC)晶片为加工对象,提出了双面化学机械抛光和单面化学机械抛光相结合的抛光方法.先在双面抛光机上对SiC晶片硅面和碳面......
抛光是精密和超精零件生产过程中最后一道工序。它在生产过程中不可控，劳动强度高，是整个零件制造过程中成本最高的部分。它的作用是......
铌酸锂晶体（LiNbO3简称LN）因其优良的压电、电光以及非线性光学等性能，在诸多方面被广泛研究和应用。比如，因其优良的压电效应，铌酸锂晶......
文中通过行星轮式双面抛光的运动分析，得到工件相对于抛光盘的速度表达式；在Preston方程基础上，建立了材料去除函数和抛光均匀性函数；......
双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法，但由于需要严格的加工条件，很难获得理想的超光滑表面。本文设计了新的硅片双面抛光加工工......
建立了双面抛光过程中硅片表面上的一点相对于抛光布的运动模型；利用数学软件，模拟出不同速度下的运动轨迹。轨迹和实验结果表明，在其......
依据双面研磨和抛光的原理，提出了红外锗窗片双面磨抛的加工工艺，从技术特点和生产实践过程等方面对工艺进行分析和验证，多次批量加工......
介绍了超精密双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案.......
基于环摆双面抛光技术，研究了3mm厚大口径超薄元件的双面抛光加工工艺。通过对双面抛光原理的分析，对转速比、抛光垫面形、抛光液等......
单球面超薄透镜厚度小、球面半径较大,使用传统的球面加工方式速度慢、加工难度大;而使用平面加工方式,拆胶后零件变形较大,无法稳......
分析了双面抛光机的加工过程，建立了抛光晶片在双面抛光机平稳运动状态下运动的数学模型，采用计算机对双面抛光加工进行运动仿真，并通......
双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法,但由于需要严格的加工条件,很难获得理想的超光滑表面。设计了硅片双面抛光加工工艺新路......
本文对超薄石英玻璃晶圆在双面抛光过程当中破裂的产生原因进行了研究,从受力分析及实验检测两方面分析了抛光机施压和转速对晶圆......
利用非接触式光学轮廓仪研究了双面抛光过程中不同压力下300mm硅片表面形貌的变化，并通过Stribeck曲线进行了探讨。结果表明。双面......
砷化镓双面抛光片的平整度不仅影响光刻过程中的对焦精度,而且双抛过程中的边缘过抛现象,即砷化镓晶片边缘去除速率增加,使得在后......
光学元件的超精密加工技术是一个国家的基础核心技术,对国家的军事和科研等方面都具有重要的影响。工艺抛光作为光学元件精密加工......
针对大口径方形超薄光学元件的抛光,提出一种新型的基于环摆抛的双面抛光方法,该方法将环形抛光和钟摆式抛光的运动方式和加工机理......
随着微电子技术和信息技术的飞速发展，对各种光电子元件的加工要求越来越高，如何高效地获得光电子晶片超平滑无损伤表面已成为超精密......
随着光电子信息技术的不断发展,对作为光电子器件基片材料的单晶硅、蓝宝石等光电子晶片的表面光洁度和平整度要求越来越高。双面......
化学机械抛光是单晶硅衬底和集成电路制造中的关键技术之一,然而,传统的化学机械抛光技术还存在一定的缺点或局限性,为了得到更好......
基于微通道板皮料、芯料、实体边玻璃材料的特点,分析了微通道板的双面抛光机理,研究了抛光工艺参数(抛光粉、抛光压力、抛光液pH......
材料去除率是表征双面抛光加工效率的重要参数,也是影响工件表面质量的关键因素。基于双面抛光加工中工件运动过程的分析,通过向量......
分析了不同抛光条件下,Ge双面抛光片的表面状况,通过抛光压力、抛光液中氧化剂的比例、抛光机转速和转速比等条件的改变,阐述了这......
随着21世纪科学技术的突飞猛进,微电子技术是当代科技发展最快的技术之一,而集成电图(Integrate Circuits简称IC)又是微电子技术的......
随着半导体集成电路的发展,硅片的直径逐渐增大。虽然小直径硅片仍采用单面抛光加工,但为追求较好的抛光质量,双面抛光已逐渐成为......
微通道板(MCP)是一种先进的电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。双面抛光工艺是微通道板制造的重要工艺。本文利用高分辨率光学......
光电子信息产业的快速发展，要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工，精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工......
双面抛光运动过程复杂,对光学材料的加工有重要的影响,运动轨迹分布不但影响加工效率,而且影响加工工件的表面质量。通过分析双面......
