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分析了双面抛光机的加工过程，建立了抛光晶片在双面抛光机平稳运动状态下运动的数学模型，采用计算机对双面抛光加工进行运动仿真，并通过改变不同的参数值，得出抛光过程中不同参数对抛光效果的影响。通过比较，获得最合理的抛光运动参数，从而得到最好的抛光效果。
双面抛光加工运动过程分析及运动仿真
【摘 要】
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分析了双面抛光机的加工过程，建立了抛光晶片在双面抛光机平稳运动状态下运动的数学模型，采用计算机对双面抛光加工进行运动仿真，并通过改变不同的参数值，得出抛光过程中不同参数
【机 构】
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苏州大学机电工程学院,盐城工学院机械学院
【出 处】
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机械工程与自动化
【发表日期】
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2007年2期
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