原子层沉积相关论文
负载型金属催化剂是一类重要的多相催化剂,广泛应用于精细化工、生物质转换和汽车尾气处理等多个领域。调变金属纳米颗粒的尺寸、......
卷对卷原子层沉积设备是基于空间隔离原子层沉积技术的工业化薄膜制备装备,以其高产量、低成本和大规模的薄膜制备优势广泛应用于......
过渡金属碳化物（TMCs）由于其独特的电子结构、优异的化学稳定性和耐腐蚀性能而受到广泛关注。其中,由于金属元素和碳元素轨道之间的......
目的 为提高原子沉积镀膜工艺的可靠性,稳定薄膜质量,设计基于可编程逻辑控制器（PLC）的一种原子层沉积设备控制系统。方法 针对工作......
降低硅表面反射率的方法一般是通过对硅表面进行绒化处理,从而在表面产生微米级的金字塔,在四分之一波长设计一个电介质层以进一步......
原子层沉积（ALD）是一种高精度涂层制备的技术，薄膜膜厚可以实现原子水平的生长。该技术在薄膜厚度的控制、膜厚均匀性、复杂形状构件......
有机半导体薄膜器件具有柔性、超薄、可集成、低成本等诸多优点,在可穿戴和可折叠电子设备中具有巨大的市场潜力,更重要的是,大面......
微通道板（Microchannel Plate,MCP）是一种电子倍增器。MCP在多个科学领域均有应用,如微光夜视、光电倍增管及图像光子计数器等。传统......
微通道板（Microchannel plates,MCP）是一种具有高长径比结构的二维真空电子倍增器件,在微光像管、光电倍增管、摄像管、紫外辐射和X-......
目前批量原子层沉积反应器存在气体扩散不均、腔室利用率低、反应副产物残余等缺点，影响了沉积薄膜的质量，降低了生产效率。针对以上......
有机发光二极管（OLED）、有机电子器件,特别是柔性器件,如可穿戴电子传感器、电子显示纸和柔性印刷电子,受水汽侵蚀后寿命低,因此必须......
锂离子电池由于其比容量高、循环寿命长、可快速充放电等优异的性能,作为新一代储能器件而备受关注,广泛应用于移动电子设备、新能......
对环境危机和能源短缺的关注迅速发展,推动了可再生清洁能源的探索。水系锌离子电池成本低,危险性低,同时倍率性能稳定,因此在近年......
以氢气为动力的质子交换膜燃料电池（PEMFC）具有能量转换效率高、零排放、无污染等特点,是取代传统内燃机在交通运输领域应用的最有前......
金属电极与卤素之间的扩散反应是造成钙钛矿太阳电池（PSC）衰退的重要因素，而利用原子层沉积（ALD）技术在金属电极和钙钛矿活性层之间沉积......
钙钛矿太阳电池因其较高的光吸收系数、低的激子结合能和较低的材料成本受到广泛关注。此外,灵活可调的带隙和高的工艺兼容性使其......
原子层沉积（atomic layer deposition,ALD）技术,是一种特殊的化学气相沉积技术,通过将气相前驱体脉冲交替通入反应腔室在基底表面发......
金属卤化物钙钛矿纳米晶由于颜色可调、线宽较窄、颜色纯度高、光致发光量子产率（PLQYs）高等特点引起了科学界的广泛关注。但是量子......
近年来,钙钛矿纳米晶由于其具有高的量子产率、可调的发射波长、极窄的半峰宽等优异的光学特性使其成为一种新兴的功能半导体材料,......
金属卤化物钙钛矿量子点（PQDs或PNCs）是一类具有带隙可精确调控、发光效率优异、合成方法简易等一系列优点的半导体纳米晶。因此,PNC......
Al掺杂ZnO（AZO）薄膜由于具有优异的光学性能和良好的电学性能、制备成本低、对环境友好、能够应用于柔性器件等优点,在太阳能电池、......
二维过渡金属硫化物（TMDs）具有良好的电子、光学和机械性能,被认为是最有前途的光电器件候选材料。二硫化铪（HfS2）和二硫化钼（MoS2）作为T......
阻变存储器是为了解决浮栅存储器尺寸的不断缩小引发的一系列问题而兴起的一种非易失性存储器,它结构简单、尺寸可缩小性好、存储......
高氯酸铵是固体推进剂中的氧化剂,同时也是推进剂中含量最多的高能组分。高氯酸铵的热分解性能对固体推进剂的燃烧特性影响极大,采......
ZnO材料以其相对较大的禁带宽度（3.37 e V）和相对较高的激子束缚能（60 me V）和相对较高的背景载流子浓度的特点,在发光应用领域极具潜......
采用原子层沉积技术制备Al2O3薄膜作为InSb材料介电层,制备了MIS器件,研究了金属化后不同退火温度对界面特性的影响.利用C-V测试表......
薄膜封装是有机电致发光器件柔性化亟需解决的关键技术难题.用NEA121树脂与Al2O3作为薄膜封装的有机膜与无机膜封装,封装薄膜的水......
本文第一部分工作对单层二硒化钨（tungsten disulfide,WSe2）中的缺陷,包括本征缺陷与非本征缺陷,进行了系统表征。选择机械剥离（mecha......
随着科技的发展,半导体领域工艺制造水平越来越高,传统的硅基半导体器件已变得不适用。石墨烯材料由于自身的高载流子迁移率、低电......
学位
在过去的十多年间,钙钛矿太阳能电池的光电转换效率从最初的3.8%,迅速增长到25.5%。随着钙钛矿太阳能电池研究的不断深入,从带隙角......
本工作以单晶硅为衬底、四(二甲氨基)锡和水为前驱体,研究原子层沉积技术制备氧化锡薄膜的工艺及其光学和电学性能,并将其应用于钙......
有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode,OLED）由于其轻薄、宽视角、响应快、亮度高以及可弯曲的优势为照明和显示技术提供了......
二硫化钼(M oS2)是一种典型的过渡金属硫属化合物,其二维结构表现出优异的光学性能、热电性能及光电性能,在光电器件领域具有广阔......
光电探测器是重要的光电器件,其中基于侧向光伏效应的光电位置灵敏探测器在光电探测中具有重要的应用价值。基于以往的研究基础,光......
生物分子参与人体各种生命过程,研究生物分子的检测分析方法对于疾病诊断和治疗具有重要意义。电化学检测是一种新型的检测分析技......
在科技化发展迅速的今天,人们对透明电子领域提出了更新的要求,透明、柔性以及可穿戴电子产品应运而生。显示器在透明电子器件中占......
基于固态纳米孔搭建的传感平台已经在多个研究领域有着重要应用,并取得了重要进展,如生物传感、分子测序、海水淡化等领域。固态纳......
电介质储能电容器具有极快的充/放电速率,在脉冲放电、功率调节等电子设备中有着广泛的应用。其中,以薄膜材料作为电介质层的储能......
功能纤维在可穿戴电子的应用中具有巨大的应用前景.但是,由于其成本高昂,且功能层与织物基材之间的黏合力很差,易导致功能层脱落,......
LiPON是一种重要的固态电解质,然而LiPON薄膜会与空气中的水和CO2发生反应产生Li2CO3,导致器件的电学性能变差.本工作利用X射线光......
在柔性产业的引领下,柔性超高阻隔膜由于可以使器件免受水汽侵蚀,延长使用寿命,广泛应用于有机发光二极管(OLED)柔性面板、量子点......
针对机械剥离和化学气相沉积等传统制备二硫化钼薄膜方法的不足,采用原子层沉积方法,在氧化硅基底上沉积单少层二硫化钼薄膜,制备......
