BST薄膜相关论文
应用Sol-Gel工艺制备了组份为(1-y)BaSrTiO-yMgO的薄膜材料,研究了Mg掺杂BST薄膜晶相结构、介电性能以及绝缘性能的影响规律.实验......
以Ba(CH3COO)2、Sr(CH3COO)2、Mg(CH3COO)2、Ti(OC4H9)4为原材料,冰醋酸和乙二醇乙醚为溶剂,采用溶胶-凝胶技术在多晶Al2O3衬底上......
Content提纲1.BST公司介绍2.BST ProControl先进的薄膜在线 厚度测量和控制系统·应用领域及材料·系统构成·传感器技术3.BST纠偏......
会议
利用碳酸盐代替部分醇盐,探讨了采用So1-Gel技术制备Ba1-xSrxTiO3(BST)铁电薄膜的可行性.以醋酸钡[Ba(CH3COO)2]、碳酸锶[SrCO3]和......
研究了一种以水为溶剂的(Ba0.5Sr0.5)TiO3(B ST)源溶液,用Sol-Gel技术制备出BST薄膜,并研究了薄膜的结构和电性能.结果表明,厚度 ......
钛酸锶钡(Ba1-xSrxTiO3,简称BST)是一种常见的电介质材料,具有优异的介电、挠曲电、压电以及铁电性能,在微波、传感器、存储器件等......
用醋酸锶（Sr（Ac）2）、醋酸钡（Ba（Ac）2）和钛酸四丁酯（TBT）为原材料，采用sol－gel工艺制备Ba1－xSrxTiO3系铁电薄膜研究了螯合剂乙酸丙酮（HAcAc）的添加......
采用SOL-GEL工艺,在S I(100)衬底上制备了BA1-XSRXTIO3(0.1≤X≤0.3)多晶薄膜,并用椭偏光谱仪在光子能量为2.0~5.2 EV的范围内,测......
钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)薄膜具有优良的铁电、介电性能,尤其具有介电非线性效应,使其在微波调谐器件方面得到广泛的应用.本文......
在GaN衬底上制作了MIM型BST薄膜压控电容.测试表明，该压控电容在0.1～15GHz的频率范围内具备压控调谐特性；在5GHz处，当外加电压15V......
用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr04TiO3薄膜,采用SEM,XRD,AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为.为抑制薄膜裂纹,......
本文采用射频磁控溅射法在Pt/Al2O3衬底上制备了2mol％Mn2+掺杂的Br0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜。分析了衬底表面沉积粒子的能量状态，对溅......
近年来，钛酸锶钡Ba1-xSrxTiO3(BST)铁电体材料因为其介电常数随外加电场非线性变化，且具有高的介电常数可调性、相对低的介质损耗等......
本文对采用溶胶-凝胶法（Sol-gel法）制备的Ba_xSr_(1-x)TiO_3（BST）薄膜的工艺进行了初步研究，制备出了光滑均一的BST薄膜。对不同情况下......
本文对应用于DRAM电容介质的钛酸锶钡(BST)薄膜材料的制备与性能进行了研究。采用溶胶—凝胶方法以廉价的Ba和Sr的醋酸盐为前......
本文以Ba(OAc)2、Sr(OAc)2以及Ti(OC4H9)4为原材料，采用了溶胶-凝胶法，制备了光滑均一的BST薄膜，并对不同条件下制备出的BST薄膜的结......
单片式非制冷红外焦平面阵列（UFPA）技术的发展需求对开发新型性能优良的铁电薄膜及其低温制备技术提出了迫切要求，由于（BaSr）TiO3（简称BS......
红外成像系统最终要实现小型化、低成本、高性能和高可靠性的全被动式工作。光量子探测器有很高的红外响应特性和灵敏度，但致冷要求......
(Sr,Ba)TiO3薄膜在DRAM、相位移器、热释电探测器等领域的应用前景已成为国内外材料研究的主要领域之一。本文以Ba(OAc)2，Sr(OAc)2.......
(Ba,Sr)TiO_3(简称BST)是一种钙钛矿结构的铁电材料,具有介电常数高、漏电流密度小、热释电性能优良以及居里温度可调等特点,是制......
BST薄膜具有高介电系数、低漏电流密度、居里温度可调以及优异的热释电性能等优点,可被广泛应用于非制冷红外探测器、动态随机存储......
氧化物导电薄膜锰酸锶镧(La1-xSrxMnO3，LSM)、钴酸锶镧(La1-xSrxCoO3，LSC)作为铁电薄膜钛酸锶钡(BST)电容器、传感器等的电极材料或......
研究了射频磁控溅射法制备BST薄膜的动力模型,根据等离子体动力学推导出了离子的运动方程,从而指出了前驱体(靶材)的被溅射情况.在......
采用磁增强反应离子刻蚀(MERIE)技术，在射频功率为80 W、总气体流量速率为50 sccm 和本底真空度优于0.1 Pa等工艺参数保持不变的情......
钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3,简称BST)在研制电可调谐器件(如微波铁电移相器)具有巨大的应用潜力。但纯BST在调谐率较高时,介电常......
随着当今社会科学的不断发展，对存储器的要求越来越高，现代的存储器件已经达到了瓶颈，因此，很多新型存储器被大家提出和进行了系统的研......
随着计算机技术的不断发展,已有一百多年历史的椭偏术的研究重点已从该技术本身转移到了它在材料分析中的新用途.该论文介绍了椭偏......
采用微波加热技术和添加高分子分散剂,通过sol-gel法制备BST纳米粉体,再将纳米粉分散于BST溶胶中,通过分步甩胶工艺,制备BST陶瓷膜......
研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的ＢＳＴ前驱液，用ｓｏｌ－ｇｅｌ法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）基底上成功地制备出具有优良电学性能的Ｂａ０．７Ｓｒ０．３ ＴｉＯ３薄膜．乙二醇的加入有效地增加了前驱液的稳......
应用Sol-Gel工艺制备了BST薄膜 .应用复阻抗谱和模量谱技术研究了BST薄膜的介电响应 ,实验结果表明 :BST薄膜的阻抗谱曲线是一个完......
用动态法测量了相变热释电材料(Ba0.65Sr0.35)TiO3薄膜的热释电系数,并对相变热释电系数的计算进行了理论分析.先测量了传统热释电......
采用高度稀释的前驱体溶液在LaNiO3 (LNO)薄膜上沉积了Ba0 .9Sr0 .1TiO3 (BST)薄膜 .X 射线衍射分析表明BST薄膜呈高度的 (10 0 )......
用ＦＴＩＲ分析，结合ＤＳＣ、ＸＲＤ、ＡＦＭ实验结果，展示了ｓｏｌ－ｇｅｌ法制备ＢａｘＳｒ１－ｘＴｉＯ３（ＢＳＴ）薄膜热演化过程的化学机制．研究表明：螯合剂ＨＡＣＡＣ的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶......
用椭偏光谱仪首次在光子能量为２．１～５．２ｅＶ的范围内，测量了不同热处理温度下Ｂａ０．９Ｓｒ０．１ＴｉＯ３（ＢＳＴ）薄膜的椭偏光谱，建立适当的拟合模型，并用Ｃａｕｃｈｙ色散模型描述ＢＳＴ薄膜的光学性质......
研究利用钡、锶的碳酸盐代替醋酸盐,采用sol-gel技术制备Ba1-xSrxTiO3(BST)铁电薄膜的工艺过程.以碳酸钡、碳酸锶和钛酸四丁酯作原......
采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了掺Bi(Ba0.65Sr0.35)Ti O3(简称BSTBi)薄膜.XRD研究结果表明,BST系列薄膜具有单一钙钛矿结......
利用溶胶凝胶法在Pt/TiO2/SiO2/Si（001）衬底上制备了（～70nm）的Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）薄膜,采用磁控溅射法构建了Pt/BST/Pt/TiO2/SiO2/Si（001）......
采用sol-gel法制备了Ba0．6Sr0．4TiO3薄膜。探讨了溶胶中醋酸和乙二醇用量对BST晶化温度和物相的影响，配制出了晶化温度低且无杂相的BS......
基于Ba_xS_（rl-x）TiO_2（BST）在微波调制器件上的应用,采用射频磁控溅射在Si衬底上制备了BST铁电薄膜,利用透射电子显微镜（TEM）对薄膜的内......
采用醋酸水溶液体系溶胶-凝胶法制备了未掺杂和掺Mn(Ⅱ)钛酸锶钡(BST)薄膜.用这种方法,可在BST体系中容易地加入任何浓度的金属离......
BaxSr1-xTiO3(BST)是动态随机存取存储器(DRAM)中常规电容介质SiO2的替代材料.用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Si及Pt/Ti/SiO2/Si基片上......
应用溶胶-凝胶(S01-Gel)工艺制备了组分为r(Ba:Sr)＝0.65:0.35的BST薄膜,研究了BST薄膜的显微结构、介电特性和漏电流特性,实验结果......
在醋酸水溶液体系中采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了未掺杂和掺Ni的钛酸锶钡(BST)薄膜,研究了Ni的加入对BST薄膜......
南京电子器件研究所采用RF、磁控溅射法成功研制出室温下相对介电常数高于100的BST薄膜。采用具有自主知识产权的工艺技术制作了大......
