光学对准相关论文
1978年我们为了解决四槽轧制的轧辊加工质量,成功地应用了轧辊车削数控装置,同时提出研制光学测量仪,用来检验轧辊和导卫质量,以......
由于目前最先进CMOS器件的尺寸非常小,对准要求变得极具挑战性。测量触点至栅极对准的方法涉及用SEM扫描触点阵列,每次与接地栅极......
ＬＩＧＡ工艺技术包括光刻、电铸和塑铸３个重要环节。而深层同步辐射光刻掩膜技术是Ｘ射线光刻应用的关键之一。我们采用聚酰亚胺为衬基，以电铸......
Aerotech推出一系列Z轴压电纳米定位平台,可满足极高精度要求的科研和工业需求。此款新型QNP-Z平台与现有的包括QNP-L直线平台和QN......
本文所述的是一步进光刻机自动对准装置,该装置能保证使中间掩模图形在片子管芯上的象重合在0.1微米以内,图象投影到四个确定象限......
一、引言光电探测器与光纤耦合是光通讯应用中的一个重要环节,本文结合 PIN 管光电探测器研制工作的具体要求,对光纤与 PIN 管的......
采用常规的ＩＣ工艺技术在硅片上制作了一种薄型探卡，并验证了它的功能。此卡可以用矩阵的形式提供极多的探针数（大于１０００个），此针永久地固定在......
研制了一种新型光纤—光波导精密对准仪,并对其工作原理和光学对准机构的设计进行简述.该仪器根据端面耦合原理设计,有平动与转动......
高速大数据的传输与信息处理是光通信中的重点。4×10G 850nm是大数据处理中心所用的关键部件,本文介绍了基于一种垂直腔体发射激......
提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系......
Krell Technologies公司的Rev是加工光纤连接器的低成本系统。光纤连接器是光学对准和校准工具，通过它使光学系统达到Telcordia标准......
高速大数据的传输与信息处理是光通信中的重点。4×10G 850nm是大数据处理中心所用的关键部件,本文介绍了基于一种垂直腔体发......
荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一 ,通过不断的技术创新 ,在全球光刻机市场上居于领先地位。在简单介绍光刻机基本工......
为了解决基于波前或星点图对准大口径空间光学系统时计算量大、面形误差影响大等问题,提出了一种基于离散阵列光源对准空间光学系......
本专利是关于利用掩模和片子的对准图形进行对准的电—光对准系统,对准图形的象可以经过空间滤波器有选择地通过,每个对准图形包括......
给出了一种基于高斯光束的平凹激光腔对准方法。在高斯准直光束后加一透镜系统，恰当地调整准直高斯光束到某一种汇聚发散的状态。在......
设计了一套光学对准测量装置，该装置主要由面阵CCD相机、光学镜头、图像处理模块、LED红光光源、球面反光镜组成。介绍了测量原理，测......
