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作者将遗传算法应用于毫米波微电子机械系统(MEMS)相移器的设计和优化,根据毫米波微机械系统的特点,讨论了遗传算法的一些改进,提出一种有效的具有变种群规模、并与爬山法相结合的混合遗传算法(VPSG_GM).通过变种群规模混合遗传算法的优化设计,一个拥有32个30微米宽的跨桥、长300微米(总长为10.56毫米)的MEMS相移器在40GHz时可以达到124°/dB的相移,在60GHz时相移为148°/dB.