一种正型聚酰亚胺光致抗蚀剂

来源 :中国感光学会2017年学术年会暨第九届五次理事会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ppp9904140

【摘要】

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以4,4-二氨基二苯醚(ODA)与4,4-联苯醚二酐(ODPA)共聚反应得到聚酰胺酸(PAA),再用甲醇在酸催化下进行酯化反应.可制得不同比例的一系列聚酰胺酸甲酯,它们可以与酚醛树脂-重氮

【作者】

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严臣凤路世伟王力元

【机构】

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北京师范大学化学学院,北京100875

【出处】

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中国感光学会2017年学术年会暨第九届五次理事会

【发表日期】

：

2017年8期

【关键词】

：

光致抗蚀剂聚酰胺酸酯制备工艺成像质量

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以4,4-二氨基二苯醚(ODA)与4,4-联苯醚二酐(ODPA)共聚反应得到聚酰胺酸(PAA),再用甲醇在酸催化下进行酯化反应.可制得不同比例的一系列聚酰胺酸甲酯,它们可以与酚醛树脂-重氮萘醌磺酸酯一起组成正性的聚酰亚胺光致抗蚀剂,曝光成像后可以获得分辨率为5μm的图形.利用傅里叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1HNMR)等表征了聚合物的结构和性能.

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