【摘 要】
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本文综述了一种新型光致抗蚀剂———负性自增感光敏聚酰亚胺的研究概况，着重论述了它的合成方法、感光机理、感度及其影响因素，以及新型二酐和二胺单体的开发情况。
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本文综述了一种新型光致抗蚀剂———负性自增感光敏聚酰亚胺的研究概况，着重论述了它的合成方法、感光机理、感度及其影响因素，以及新型二酐和二胺单体的开发情况。
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