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本文报导了紫外激光(308nm,266nm)刻蚀聚酰亚胺的阈值、刻蚀速率、分辩率等实验结果,并对结果进行了分析讨论。更多还原
紫外激光刻蚀聚酰亚胺
【摘 要】
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本文报导了紫外激光(308nm,266nm)刻蚀聚酰亚胺的阈值、刻蚀速率、分辩率等实验结果,并对结果进行了分析讨论。更多还原
【机 构】
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吉林大学,中科院长春光机所,中科院长春光机所130023,130023
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1992年2期
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