【摘 要】
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用氮分子激光诱导聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)与4,4′-二迭氮二苯基砜(4,4′-DDS)的交联聚合反应,使PMMA由正型转变为负型抗蚀剂。用付立叶变换红外光谱法研究其反应动力学,研究
【机 构】
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用氮分子激光诱导聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)与4,4′-二迭氮二苯基砜(4,4′-DDS)的交联聚合反应,使PMMA由正型转变为负型抗蚀剂。用付立叶变换红外光谱法研究其反应动力学,研究了交联剂4,4′-DDS、敏化剂4-笨氧基二笨甲酮以及防氧剂对一二甲胺苯甲醛对于反应速率、量子产率、转化率以及反应诱导期的影响。
Polymerization of polymethylmethacrylate (PMMA) and 4,4’-diazidodiphenyl sulfone (4,4’-DDS) was induced by nitrogen laser and the conversion of PMMA from positive to negative Resist. The reaction kinetics was studied by Fourier transform infrared spectroscopy. The effects of cross-linking agent 4,4’-DDS, sensitizer 4-stupidoxybenzophenone and antioxidants on the reaction of Reaction rate, quantum yield, conversion rate and reaction induction period.
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