微机械陀螺相关论文
微机械陀螺控制系统主要有两个功能:一是驱动振荡;二是检测振荡.根据国内外微机械陀螺的最新研究发现,在控制系统中一般使用结构已......
为研究结构参数对静电驱动微机械陀螺动态性能的影响,考虑支承刚度的三次非线性和静电力的分式非线性,基于两自由度动力学模型,利......
提高灵敏度是陀螺仪设计的难点之一，通过改变陀螺仪的结构设计可以提高其灵敏度。本文从动力学入手，引出了平面硅微机械陀螺任意一点......
为了使陀螺获得较高的灵敏度和一定的带宽,就要使驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配.文章首先用有限元法研究了一种新结构振子......
电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接......
为了解决目前微机械振动陀螺恒幅驱动中的自动增益控制的直流参考电压源对振动幅度的影响问题。本文提出了在高品质因数下，采用基于......
本文介绍了一种简单而新颖的振子-框架式微机械陀螺.对陀螺驱动特性和检测阻尼特性的分析表明,利用梳状叉指的侧向静电线驱动可获......
本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影......
微机械陀螺的应用中,一个很大的限制因素就是陀螺的随机漂移问题.通过建模的方法对陀螺漂移进行预测和补偿,是从系统角度提高陀螺......
本文分析了谐振轮式微硅陀螺的结构,并对提高微硅陀螺的灵敏度进行了研究,发现选择一个完全轴对称的谐振结构是设计高性能微陀螺的......
使用由清华大学设计和开发,并采用国内MEMS工艺线加工的微机械陀螺和微机械加速度计,设计了一型MINS/GPS组合导航系统,并进行了工......
微机械陀螺和其控制电路的集成化设计成为近年来的研究热点,本文对其中的输出模块进行了CMOS设计,设计了一种低压、低功耗、低失真......
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近些年来,姿态测试技术取得了飞速的发展,对实现火箭弹等武器的精确打击发挥了重要作用。传统的火箭弹姿态测试方法是将地磁场信息......
微机械陀螺是硅加工工艺与机械制造相结合的产物,作为惯导系统组成部分,微机械陀螺在军事和民用中得到广泛应用。精确测量是微机械......
微机械陀螺已经被广泛应用于航空、汽车、消费类电子等诸多行业领域。本文研究的对象是XX研究所自主研制的双框架解耦微机械陀螺，旨......
本文分析了微机械陀螺的结构和原理。介绍了小波分析的基本理论及其几种常用的小波函数。 文中还对小波去噪的原理与方法进行了......
在现代航空、航天、陆地车辆以及舰船的导航和控制上都需要确定载体的姿态。姿态确定中使用最广泛的传感器是陀螺，但是高昂的价格限......
基于MEMS技术加工的微机械陀螺具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高等优点,当前在许多领域具有非常广阔的应用前景。然而,在国内......
微机械陀螺仪与其他传统陀螺仪相比,体积小,质量轻,特别是其低成本、适于大批量生产的优势使得微机械陀螺在日常生活中应用广泛,受......
微机械陀螺是一种测量物体角速度或角位移的惯性传感器。经过几十年的发展,通过对器件结构、处理电路以及控制算法等方面相关技术......
随着MEMS技术的快速发展,MEMS陀螺凭借自身质量轻、体积小、功耗低、耐用性好、成本低等优点,广泛应用在民用、军用领域,但由于受......
对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离,在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数,建立集总参数模......
研究了微陀螺的电容变化率为１０－７～１０－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的......
报道了无驱动结构的硅微机械陀螺,该陀螺用于测量旋转弹圆锥运动时的姿态角和姿态角速率。陀螺的结构决定了其可同时敏感旋转弹在......
本文研究一种利用旋转载体为驱动并产生陀螺效应的微机械陀螺。提出单个多功能微机械陀螺结合加速度计基准解算包括横向角速度......
气密性检测是微机械陀螺检测中的一个重要环节，是保证微机械陀螺产品质量重要手段.本文通过平行缝焊技术将陀螺外壳壳体与壳盖......
频率型微机械陀螺作为一种数字化惯性器件,在具有高精度高稳定性应用环境中具有较好的应用前景。针对影响该类型陀螺性能进一步提......
为了降低微机械(MEMS)陀螺仪的随机误差,提出一种将改进的经验模态分解法(EMD)与传统建模滤波方法相结合的新方法对随机误差进行处......
加工工艺是限制微陀螺性能提高的关键因素,本文对典型解耦型微机械陀螺原理分析基础上,与加工工艺结合进行结构设计,利用溶片工艺......
频率特性是微机械陀螺的重要参数,本文对一种双质量水平轴微机械陀螺样品的驱动和检测模态的谐振频率特性进行了实验测试,估算了陀......
本文设计了一种新型的微机械陀螺.通过模态分析和优化设计,使得驱动模态固有频率和检测模态固有频率之差落在所要求的频差范围内,......
本文首先就硅微加速度计、微机械陀螺及MEMS惯性测量组合的研制现状作了一系统的分析.然后对国内研制硅微惯性器件的几个问题(硅基......
本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影......
本文介绍了一种简单而新颖的振子-框架式微机械陀螺.对陀螺驱动特性和检测阻尼特性的分析表明,利用梳状叉指的侧向静电线驱动可获......
一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台,介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的......
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在遥感过程中,要用稳定平台补偿飞行载体的姿态变化,以达到使相机垂直对地的目的。本文简要介绍了稳定平台的组成;分析了模糊算法......
研究了一种基于深反应离子刻蚀(DRIE)中notching效应的MEMS单步干法制造工艺.首先,基于DRIE刻蚀SOI硅片时notching现象产生的机理,......
