压膜阻尼相关论文
本文使用硅质微小球粘至无针尖微悬臂梁制作球形探针,并使用球形探针微悬臂梁模型计算模拟了轻敲模式下原子力显微镜工作时,针尖-......
显微术由十六世纪的光学显微镜开始,逐步发展到二十世纪的电镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）等,帮助人们不断深入探索微观世......
声表面波(SAW)加速度计是一种高性能、低成本的新型传感器。在我国，由于SAW加速度计动态性能差等问题没有解决，所以至今尚未投入实际......
可调谐滤波器是光通信系统中的重要元件,但由于其体积大、调谐范围窄、响应速度慢、分辨率低和成本高等缺点,应用受到诸多限制。近......
MEMS技术是一种前沿的、多学科交叉的高科技技术,是基于现代科学技术,并作为整个纳米科学技术的重要组成部分,具有广阔的市场和应......
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)自1986年发明以来,已成为表面形貌成像和定量测量各种材料物理化学性质的主要工具。与......
MEMS加速度微开关作为一种集传感器及执行器于一体的惯性器件,不仅能够感知加速度信号,而且受控于加速度阈值来执行开关动作。根据......
微机械电子系统是人类进入21世纪以来,科学技术的重要的发展方向。微机械谐振器作为微机械电子系统中的核心部件,了解各设计参数对......
为保证静电悬浮微陀螺在工作状态下具有期望的动态特性,需要得到微陀螺六自由度运动的空气阻尼模型。根据流体力学和分子动力学的......
针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法.在......
分析论证了压膜阻尼应用于声表面波加速度计的可行性.利用机电模拟方法,建立完整的声表面波加速度计等效电路模型.通过对该模型进......
提出参数激励作用下静电驱动微机电系统(MEMS)中梁式微结构共振传感器的动力学模型，采用多尺度方法对微系统的动力学方程进行摄动分......
由缝隙流和挤压流动控制方程得到了滑流边界条件下的粘性修正的流动解．分析了圆盘的运动阻尼与缝隙大小、中心孔径以及圆盘厚度的关......
空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响。根据流体力学，构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程。将......
声表面波（SAW）加速度传感器的精度高，具有数字量输出、体积小、功耗低、抗干扰力强、可靠性高等优点。根据SAW加速度传感器工程化的需......
利用有限元模拟方法，对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先，建立适用于该器件曲面阻尼的分......
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备.设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构,分别......
微尺度下，压膜阻尼对微机电系统（MEMS）微结构功能特性有很大影响。从滑流效应、挤压效应和穿孔效应三个方面对平板间气膜阻尼进行理论......
针对低频水声信号的探测需求,设计了一种MEMS低频水声电容传感器。为适应水下工作环境,改善振膜的承压性,将电容敏感结构整体置于......
给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制......
石英挠性加速度计是导航与制导系统中常用的一种惯性元件,其表头阻尼影响加速度计的动态性能但相关研究却鲜有报道,基于此提出一种......
静电驱动微机械谐振器由于其高频率、低功耗和小型化被广泛应用于工作在空气中和液体中的化学传感器和生物物种传感器中。对于微机......
轻敲模式下探针从远离到间歇性接触样品表面,是一个连续的能量耗散过程.针对该连续过程的能量耗散机理研究仅零星存在于各个文献之......
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)在轻敲模式下工作时,随着探针针尖与样品距离的逐渐减小,空气压膜阻尼的作用随之增大......
静电扭转微镜是典型的微光机电系统,凭借其体积小、重量轻、低成本、低功耗、结构简单、便于大规模集成等特点,在光通信、投影显示......
静电驱动是微机电产品中广泛使用的驱动方式,微板是MEMS产品设计中一种典型的结构元件。静电驱动MEMS器件在工作中存在静电场力与......
近年来，随着无线通信系统的飞速发展，对低相位噪声压控振荡器(VCO)的需求也同益增加。VCO的调谐能力通常由可变电容来实现，要获得低相......
随着MEMS设计技术的发展,有限元分析越来越不能满足CMOS-MEMS的整体设计,系统级仿真和分析对器件的设计和优化必不可少。系统级仿......
微机电(MEMS)惯性开关是对加速度的变化敏感并提供开关闭合动作的MEMS执行器,也称阈值开关、加速度开关或者g值开关。MEMS惯性开关......
半球谐振陀螺（Hemispherical Resonator Gyroscope,HRG）作为一种高精度、长寿命、高可靠性的惯性传感器,已广泛应用于导航系统中,在......
针对梳齿电容形式的微机械加速度计,对其工作原理和动态性能进行了分析。该微结构的质量块由4个折叠梁支撑,采用梳齿结构形成差分......
提出一种用于微振动测量且可抗大冲击高过载的高精度振动传感器,其差分敏感电容由金属簧片和上下两块陶瓷极板组成,敏感质量块直接......
惯导系统应用环境往往十分恶劣,主要表现为高强度振动、快速温变等。该环境对加速度计的综合测试性能带来较大影响。针对改善振动......
<正> 石英挠性伺服加速度计是具有国际先进水平的新型高级传感器.它精度高、长期稳定性好、体积小巧,是对加速度、速度、距离、摇......
MEMS产品的应用范围越来越广，理解MEMS产品在不同工作条件下的行为和失效模式对提高器件可靠性、优化结构设计是十分重要的。机械冲......
轮式角振动陀螺气体阻尼效应是影响其动态特性的主要因素。在充分研究轮式角振动陀螺结构特征的基础上,创建了角振动陀螺驱动模态......
期刊
为保证常压封装的MEMS器件有期望的动态特性,需分析微结构的空气阻尼效应.采用ANSYS对运动板间空气阻尼进行了仿真分析.建立了压膜......
