A micromachined electrostatically suspended gyroscope(MESG)based on UV-LIGA microfabrication process was introduced.By c......

针对现有的微机械陀螺噪声分辨率难以降低的问题，设计了一种基于纳米光栅检测的微陀螺，阐述了纳米光栅微陀螺的工作原理，分析了微陀螺......

针对一种新颖的基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了悬浮控制系统的原理和设计,并着重对Z轴悬浮控制系统的设计进行了分析,建......

微机械陀螺以抗；中击强度高、功耗低等优点在军事、民用方面都有着巨大的应用潜力，是各国研究机构和公司研究的一个重点方向。系统建......

静电悬浮转子微陀螺是一种新型陀螺，通过静电力控制转子使其自由悬浮在空腔中，利用有限元法提取转子在平动和翻转时的压膜阻尼。在考......

微陀螺是微小卫星、微飞行器等装备中不可缺少的惯性器件,磁悬浮转子陀螺能克服机械支承和定位的摩擦,使之可以达到普通陀螺的精度......

利用热传导理论,对微陀螺仪在真空回流炉中的封装过程进行了数值模拟,得到了当焊料熔化时,加热台台面与微陀螺仪的焊料层的温度梯......

应用介观压阻效应,研究设计了一种含直拉直压微梁结构的微机械陀螺,并利用共振隧穿薄膜作为该微机械陀螺的敏感元件以提高陀螺的灵......

给出了一种基于UV-LIGA技术的静电悬浮转子微陀螺，提出了控制系统组成方案，为了实现转子的起支控制和稳定悬浮，模糊控制被应用于该系......

空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响。根据流体力学，构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程。将......

给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度;采用力平衡原理和力矩平衡原理测量壳体输入的......