沉积参数相关论文
采用哈特曼夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的SiO2,TiO2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应力值......
本文采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术制备n 型纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜，系统研究了沉积参数，特别是掺杂浓度对薄膜微结构、电学性质和......
在TiSiN薄膜高硬度机理的研究过程中，我们首先使用第一原理软件包对不同情况下粒子跃迁的激活能进行计算，然后把计算得到的数据作为......
本课题的研究对象是作为硬盘磁头保护膜的超薄DLC薄膜。其研究的目的和意义在于建立了用EELS表征超薄DLC薄膜sp3含量的方法，以及沉......
作为绿色能源,太阳能电池在能源危机和环境危机的今天,突显其研究和应用价值。多晶硅薄膜集晶体硅和非晶硅材料优点于一身,克服了......
涂层刀具兼有刀具基体材料强韧性和涂层材料耐磨性而成为现代切削领域中的应用最广泛刀具。TiAIN涂层的开发在刀具涂层材料发展史......
六方氮化硼是重要的宽禁带半导体材料，其带隙宽度超过6eV，具有优异的物理化学性质，如优异的热导性，高电阻率，高的微波与红外的透过性和......
氧化亚铜(Cu20)是一种非化学计量半导体,不同条件下制备的氧化亚铜可能为n型或p型半导体,它的禁带宽度约为2.1 eV。在可见光范围内......
面对石油等传统能源即将消耗殆尽和环境污染污染问题,世界各国都在努力开发新能源,其中太阳能是取之不尽的清洁能源,故受到广泛的......
镍具有较高的硬度和耐蚀性,在航空、航天、机械制造、电子材料及国防军工等领域得到了广泛的应用。为了满足科学发展对材料特殊性......
在Ti6A14V(TC4)合金表面制备具有生物活性的磷灰石(FHA)涂层,可以将金属良好的机械性能与生物陶瓷良好的生物活性结合在一起,而采......
微晶硅薄膜材料具有电导率高、光照稳定性好和较宽的光谱响应等优点，是近年来热门的太阳电池材料。本文采用甚高频等离子增强化学气......
本文用苯作工作气体，在一个微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体化学气相沉积系统中制备了含氢非晶碳膜(a-C:H)。对苯等离子体作......
在内孔HFCVD金刚石薄膜沉积过程中，沉积温度(t)、碳源浓度(φ)、总反应压力(p)和气体总流量(F)等沉积参数对金刚石薄膜的生长具有显......
本文采取4因子4水平田口设计,用等离子体增强化学气相沉积法制备了沉积在白玻璃上的单层N+ A-SI∶H薄膜,测试了薄膜的应力,膜厚,折......
本文采用非平衡直流磁控溅射方法制备CrNX薄膜,研究沉积参数对膜结构和性能的影响.结果表明沉积过程中增加N2的分压,薄膜的组成由C......
有机气相沉积是一种基于载气体传输的有机薄膜生长方式。为了优化沉积参数,提高有机薄膜的均匀性,建立了简化的OVPD模型,模拟了不......
以金属钨为催化热丝，采用热丝催化化学气相沉积，在300℃的玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜。研究了H2稀释率、钨丝与衬底间的距离和反应室......
基体温度、反应压力和碳源浓度等沉积参数决定热丝化学气相沉积金刚石薄膜的性能。运用正交试验方法,研究参数对硬质合金基体金刚......
我们的前期研究发现,通过制备脉冲电沉积镍(Ni)纳米晶作为催化剂,在火焰中可以生长出直径均匀的碳纳米管(CNTs),还可以通过改变电......
基于高熵合金基涂层优异的性能,如高的强度、高的硬度、在高温下良好的热稳定性、优异的抗腐蚀性,本文率先在国际上开展了高熵合金......
电解锰行业作为我国黑色冶金领域的第二大行业,属于高污染高耗能产业。为提高电解过程中的电流效率,我国电解锰企业普遍采用SeO2作......
化学农药的喷施是农业生产中防治病虫害的重要手段,目前受喷药手段、器械及其参数配置的限制,我国农药的有效利用率较低,且缺乏对......
在硫酸锌和亚硒酸钠的酸性柠檬酸钠电解液体系中进行ZnSe薄膜生长条件系列实验，为了进一步研究电化学沉积参数对薄膜成分和形貌的影......
神经电极表面涂层对电极性能有重要影响,其中沉积工艺是重要的影响参量.本文着重考察涂层沉积工艺对其电学性能的影响,并对最佳沉......
采用直流反应式磁控溅镀法在硅晶片和住友刀具BN2000上制备(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化薄膜。通过正交试验考察了溅镀功率、沉积温......
在内孔HFCVD金刚石薄膜沉积过程中,沉积温度(t)、碳源浓度(φ)、总反应压力(ρ)和气体总流量(F)等沉积参数对金刚石薄膜的生长具有......
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用磁控反应溅射法制备出具有红外敏感特性的氧化钒薄膜,进行了薄膜光电特性的测试.通过AFM和XRD对薄膜的结构和特性进行分析研究,......
硅碳氧薄膜拥有热稳定性好、能带宽、折射率大、硬度高、热导率高等优异性能,是一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜。采用射频磁......
研究了电化学沉积参数对电沉积GaAs薄膜中元素组分以及薄膜质量的影响,得出电化学沉积GaAs薄膜成分接近Ga1As1的最佳工艺条件:pH=1......
利用微波电子回旋共振（MW-ECR）等离子体增强非平衡磁控溅射法制备了碳氮化硅（SiCN）薄膜。研究结果表明：硅靶溅射功率和氮气流量对薄膜化......
硼碳氮(BCN)是一种新型的人工合成功能材料，它具有一系列优异的物理化学特性，有着极其广泛的应用前景。近几年来，硼碳氮薄膜的制备和......
从理论上分析了硫酸锌和亚硒酸钠在简单酸性溶液中进行电化学共沉积制备ZnSe薄膜的可行性；然后，在硫酸锌和亚硒酸钠的酸性柠檬酸钠电......
利用普通薄片、铸体薄片、X射线衍射、扫描电镜、阴极发光等资料,综合分析松辽盆地大安油田扶余油层储集砂岩的成岩作用、物性特征......
地震相分析是进行含油气盆地沉积体系研究的重要手段。传统的地震相分析方法主要根据地震属性或波形特征的相似性进行地震相的划分......
基于单晶硅靶材制备氮化硅薄膜的沉积参数正交试验,通过选择和研究溅射功率、工作压强、气体流量比和基底温度这四个因素,得到这四......
采用直流辉光放电等离子体设备在单晶碳化硅表面沉积高晶取向金刚石薄膜,研究了预处理方法、基片温度以及甲烷浓度(甲烷与氢气的体......
采用哈特曼-夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的Si O2,Ti O2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应......
<正> 由于对能源和沉积矿产的大量需求,沉积盆地的分析在我国日益受到人们重视。近十余年来结合煤、石油、天然气和其它沉积矿产的......
ZnSe是一种具有直接能隙(2.7eV)的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,由于在半导体器件的应用中具有相当大的潜能,如可以作为太阳能电池的窗......
本文利用了新型电火花表面沉积设备并选用WC的电极材料，对H13钢、3Cr2W8V钢、GCr15钢和不锈钢1Cr18Ni9Ti等工件材料进行了电火花表......
本工作采用等离子体增强化学气相沉积技术对Si衬底上沉积的氮化碳薄膜的过程进行了实验研究。以扫描电子显微镜（SEM）、能量色散X射线......
学位
金刚石单晶微粉通常指粒度在0.1~54μm之间的超细磨料，主要用于工件表面的超精密光整加工。目前大部分人造单晶金刚石都是采用静态......
