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本文报导用真空共蒸发沉积获得了 In 掺杂的 Cds 簿膜.研究了 In 掺杂量、衬底温度 Ts 与簿膜的方块电阻、晶粒大小等的关系.得到了随 In 掺杂量的增加,方块电阻减小和晶粒度增大.另外,对 CdS 簿膜的光学性质也作了测量.
真空蒸发沉积Cds薄膜
【摘 要】
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本文报导用真空共蒸发沉积获得了 In 掺杂的 Cds 簿膜.研究了 In 掺杂量、衬底温度 Ts 与簿膜的方块电阻、晶粒大小等的关系.得到了随 In 掺杂量的增加,方块电阻减小和晶粒度
【机 构】
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云南师大太阳能研究所,云南师大太阳能研究所
【出 处】
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云南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1991年1期
【基金项目】
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本课题属省科委重大科研课题部分内容
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