【摘 要】
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采用真空蒸发沉积技术在ITO玻璃上制备得到CdZnTe纳米晶薄膜,并利用台阶仪、X射线能谱仪（EDS）、X射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）研究了CdZnTe薄膜厚度、成分、结构和形貌特征
【机 构】
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西北工业大学凝固技术国家重点实验室
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采用真空蒸发沉积技术在ITO玻璃上制备得到CdZnTe纳米晶薄膜,并利用台阶仪、X射线能谱仪（EDS）、X射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）研究了CdZnTe薄膜厚度、成分、结构和形貌特征。实验结果表明,薄膜在（111）面表现出明显的择优生长特性。在薄膜生长初期,纳米薄膜中存在一定程度的非晶态富集Te,但随着沉积时间延长,薄膜成分向化学计量比逼近,结构也向闪锌矿CdZnTe转变。薄膜表面形貌平整,粗糙度Ra约为2～5nm。随着沉积时间的延长,薄膜形貌由晶粒堆砌状向多晶层片连接状转变。在沉积时间分
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