铝氮薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

铝氮薄膜相关论文

电弧离子镀AlN薄膜及其性能的研究

AlN薄膜具有一系列优良的物理和化学性质,在电学、光学、声学和力学等方面有广阔的应用前景。目前,大多数成膜方法均已用于AlN薄膜......

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基于AlN压电层的薄膜体声波谐振器的制备研究

无线终端的多功能化对频率器件提出了微型化、低功耗、高性能等要求。传统射频频率器件的解决方案主要是微波介质陶瓷和声表面波(S......

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薄膜体声波谐振器氮化铝射频磁控反应溅射光刻工艺铝氮薄膜

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