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铜CMP相关论文

铜CMP中SiO2抛光液的凝胶及其消除实验

SiO2在不同的pH值抛光液中容易产生凝胶现象而使抛光液失效.通过控制实验时抛光液的pH值及加入适量的添加剂而使SiO2抛光液的凝胶......

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抛光液凝胶消除实验铜CMP SIO2 二氧化硅 Cu CMP SiO2 gelatin limit

铜膜高去除速率CMP碱性抛光液的研究及其性能测定

目的探索适合于TSV技术的最佳CMP工艺。方法在碱性条件下，利用碱性FA／O型鳌合剂极强的鳌合能力，对铜膜进行化学机械抛光，通过调节抛光......

期刊

碱性研磨液铜CMP TSV技术 FA/O型螯合剂表面粗糙度

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